中?華?人 民?共?和?國?電?子?行?業(yè)?標(biāo)?準(zhǔn)

電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電測試方法

SJ/T???10694—2022

 

中 國 電 子?技?術(shù)?標(biāo)?準(zhǔn)?化?研?究?院??編?制

中 國 電 子?技?術(shù)?標(biāo)?準(zhǔn)?化?研 究?院??發(fā)?行

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開本：880×12301/16??印張：??字?jǐn)?shù)：19千字

2023年3月第一版2023年3月第一次印刷

印數(shù)：200冊????定價：150.00元

版權(quán)專有?不得翻印

舉報電話：(010)64102613

ICS ???????33.100;17.220.20?CCS??L ?06

 

 

 

中?華?人?民?共?和?國?電?子?行?業(yè)?標(biāo)?準(zhǔn)

 

SJ/T ?10694—2022?代替 SJ/T?10694-2006

 

 

 

 

 

 

 

 

電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電測試方法

 

Test method for electrostatic protection of electronic product manufacturing?and application system

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2 0 2 2 –?1 0 –?2 0 發(fā)?布 ????????????????????????????2023–01–01實(shí)施

 

 

中華人民共和國工業(yè)和信息化部???發(fā)布

 

 

SJ/ T???10694—2022

 

目????次

 

 

前言? ?V

1????范圍? ?1

2 ???規(guī)范性引用文件? 1

3????術(shù)語、定義和縮略語? ?1

3.1 ????術(shù)語和定義? 1

3.2?????縮?略?語? ??ND ??????.. ??INE ?????????????……………………………………………………2

4????一般要求????????????Q ? ?3

4.1 ????測試條件? 3

4.2??????測試儀器 3

5?????測試方法 11

5.1 ?????電阻測試一般要求 ?11

5.2 ????產(chǎn)品電阻測試? ?11

5.3?????產(chǎn)品電阻符合性驗(yàn)證測試 30

5.4 ?????手持烙鐵漏電壓、漏電流測試 35

5.5????離子化靜電消除器的測試? 37

5.6 ????防靜電工作區(qū)物品表面電壓測試 ?Z.………42

5.7?????人體電壓測試? ?43

5.8 ????手持真針電荷消散特性測試? 45

5.9 ????靜電放電屏蔽測試? ?1.à………46

5.10??????服裝帶電電荷量測試? 47

附?錄A ?(規(guī)范性)?各類防靜電產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo) 48

參考文獻(xiàn)? ?50

 

圖?1??柱狀電極示意圖? 4

圖 2??同心環(huán)電極示意圖? ?5

圖 3??兩?點(diǎn)?式?探?針?電?極?構(gòu)?造?示?意?圖?.?D? ?6

圖 4?兩點(diǎn)式探針電極構(gòu)造細(xì)節(jié)示意圖? ?6

圖 5??鱷魚夾平板電極示意圖 7

圖 6 ?條形電極結(jié)構(gòu)連線示意圖 7

圖 7 ?恒定面積的壓力電極示意圖 ?8

圖 8 ?充電平板測試儀組裝示意圖 ?9

圖 9 ?充電平板示意圖 9

圖?1?0?平行板電容電極? 10

圖?1?1?測試金屬板示意圖 11

圖?1?2?腕帶連線電阻測試示意圖 12

圖?1?3?腕環(huán)內(nèi)表面電阻測試示意圖 12

圖?1?4?提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝正面測試點(diǎn)示意圖? 14

圖?1?5?提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝背面測試點(diǎn)示意圖? 14

圖?1?7?使用測試夾具測試提供可接地點(diǎn)的服裝示意圖? 15

 

 

 

 

 

 

前????言

 

 

本文件按照GB/T??1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則?第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)?定起草。

本?文?件?代?替?SJ/T???10694—2006《電?子?產(chǎn)?品?制?造?與?應(yīng)?用?系?統(tǒng)?防?靜?電?測?試?通?用?規(guī)?范?》?,?與?SJ/T ???10694—2006相比，除編輯性修改外主要技術(shù)變化如下：

1. a) ????對標(biāo)準(zhǔn)名稱進(jìn)行了修改(見標(biāo)準(zhǔn)名稱);
2. b)增加了術(shù)語和定義(見第3章):
3. c) ?修改了測試條件，增加了試樣預(yù)處理(見4.2和2006年版的4.1);
4. d)增加了兩點(diǎn)式測試探針電極(見4.2.3.2.3電極類型);
5. e) ????刪除了摩擦起電電壓測試(見2006年版的5);
6. f) ?修改了電阻測試中施加電壓10V 下的測試參數(shù)值(見1.2和2006年版的6.1);
7. g)增加了腕環(huán)內(nèi)、外表血電阻測試專用的裝置(見5.2.1.2);
8. h)增加了服裝分類和點(diǎn)位測試(見5.2.2.1);
9. i) ????修改了鞋電阻的翻試(見5.2.3和2006年版的10?.6)
10. j) ????增加了穿戴狀態(tài)下手、指套電阻的測試方法(見5.2.6);
11. k) ????增加了防靜電裝備與產(chǎn)品點(diǎn)對可接地點(diǎn)電阻測試的方法(見 5 . 2 .?7 、 5 . 2 .?8 等?)?;

1)修改了地面的系統(tǒng)電阻的測試(見5.2.?11和2006年版的6.?1);

5. m) ???增加了人/鞋/地系統(tǒng)電阻的測試(見5.2.17):
6. n) ???增加了符合性驗(yàn)證測試的分類，并樸充了電阻測試的項(xiàng)目(見5.3);
7. o)增加了人/鞋系統(tǒng)電阻的測試(見5.3.5)
8. p)增加了手持烙鐵漏電壓、漏電流測試(見5.4);
9. q) ?增加了離子化靜電消除器室內(nèi)電離和層流罩測試(見5.5);
10. r) ????增加了人體電壓的測試(見5.7);
11. s) ?增加了包裝的靜電放電屏蔽測試(見5.9)

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。

本文件由工業(yè)和信息化部防靜電標(biāo)準(zhǔn)工作組提出。

本文件由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院歸口。

本文件起草單位：國家工業(yè)信息安全發(fā)展研究中心、蘇州天華超凈科技股份有限公司、深圳長城開?發(fā)科技股份有限公司、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國家靜電防護(hù)產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、深圳市亨達(dá)?洋靜電技術(shù)有限公司、上海陽森精細(xì)化工有限公司、浙江金華天開電子材料有限公司、上海佰斯特電子?工程有限公司、山東電盾科技股份有限公司、浙江三威防靜電裝備有限公司、上海碩榮電子科技有限公 司、佳辰地板常州有限公司、蘇州輔朗光學(xué)材料有限公司。

本文件主要起草人：何小龍、孫思宇、王榮剛、張海貝、蔡利花、高志良、劉清松、陳輝、姜干、?朱雪梅、喬栓虎、莊佐華、任光輝、沈明暉、司家林。

本文件于1996年首次發(fā)布，本次為第二次修訂。

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T ?10694—2022

 

電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電測試方法

 

 

1??范圍

 

本文件規(guī)定了電子工業(yè)所用防靜電裝備與產(chǎn)品的防靜電性能測試方法。

本文件適用于電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)中防靜電工作區(qū)內(nèi)的防靜電接地系統(tǒng)、人員接地、工作臺、

座椅、存放柜、物流車、離子化靜電消除器、工作服，包裝材料及儲存或周轉(zhuǎn)運(yùn)輸包裝等各類靜電防護(hù)

裝備與用品的防靜電檢驗(yàn)與測試。其它行業(yè)相似產(chǎn)品及應(yīng)用的相關(guān)測試可參照使用。

本文件規(guī)定的測試方法不適用于易燃、易爆環(huán)境中防靜電系統(tǒng)、產(chǎn)品檢驗(yàn)。

2??規(guī)范性引用文件

 

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款，其中，注日期的引用文件，?僅該日期對應(yīng)的版本適用于本支件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本

文件。

GB??12014—2019???防護(hù)服裝防靜電

GB/T ?????31838.2—2019 ????固?體?絕?緣?材?料??介 電?和 電 阻?特?性 ?第?2?部?分 ： 電 阻?特?性(DC ??方 法 ) 體 積 電

阻?和?體?積 電 阻?率?(IEC ???????????????????????6231-31:2346?、ID)

鞍 ?3部?分：?電 阻 特 性(DC ???方 法 ) 表 面 電

GB/T ?????31838.3—2019??固?體?絕?緣?材?料??介 電?和 電 阻?特?性

阻?和?表?面 電 阻?率?(IEC ?????????????????????62631-3-2:2015,IDT)

GB/T ?31838.4—2019 ???固體絕緣材料介電和電阻特性?第4部分：電阻特性(DC??方法)絕緣電?阻 (IEC ????????????62631-3-3:2015,IDT)

GB/T?33375—2016 ??膠粘帶靜電性能的試驗(yàn)方法

FZ/T ???80012-2012 ???潔凈室服裝點(diǎn)對點(diǎn)測試方法

IEC????61340-4-7:2017 ????特定應(yīng)用中的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法電離?(Standard??test??methods??for??specific

applications-lonization)

ANSI/ESD ???SP15.1-2011 ??手套、指套在穿戴狀態(tài)下對靜電放電敏感物品保護(hù)的實(shí)施規(guī)范?(For ?the?Protection of?Electrostatic Discharge?Suseeptible Items In Use Resistance Testing of?Gloves and?Finger?Cots)

3 ?術(shù)語、定義和縮略語

 

3.1??術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1.1

靜電放電屏蔽??electrostatic?discharge?shield

限制靜電放電引起的耦合電流通過，或衰減、阻隔靜電放電產(chǎn)生的電磁場。?[來源：IEC????????61340-4-8:2014,3.1]

 

 

 

 

 

 

SJ/T??10694—2022

3.1.2

人體電壓?body voltage

人體由于自行行動或與其他帶電物體接觸或接近而在人體上產(chǎn)生并積累靜電，用人體電壓來度量?人體對地的電位。

[來源：SJ/T??11294—2018,3.5,有修改]?3.1.3

人/鞋/地系統(tǒng)電阻?person/footwear/flooring??system ?resistance

人體電阻、人體所穿的鞋、襪電阻、鞋(腳束)與地面或與接地線之間的電阻之和。

[來源：GB/T???????15463—2018,4.18,有修改]?3.1.4

防靜電工作區(qū)?electrostatic ?discharge ?protected??area

配備各種防靜電裝備(用品)和設(shè)置接地系統(tǒng)(或等電位連接)、能限制靜電電位、具有確定邊界?和專門標(biāo)記的場所。

3.1.5

兩點(diǎn)間電阻?resistance?between?two?point

使用指定配置的兩點(diǎn)式探針電極測量的電阻。

3.1.6

對地電阻??resistance?to?ground

物體測試表面與接地系統(tǒng)接地連接點(diǎn)之間直流電阻。

3.1.7

對可接地點(diǎn)電阻?resistance to groundable point

物體測試點(diǎn)表面與該物體可以提供作為接地點(diǎn)使用的接地點(diǎn)之間電阻。

3.1.8

身體接觸點(diǎn)?body ?contact?point

服裝中導(dǎo)電袖帶或代替腕帶或腕帶式接地結(jié)構(gòu)與測試對象的手腕接觸的位置。

[來源：ESD???ADV1.0-2017]?3.1.9

點(diǎn)對可接地點(diǎn)間電阻 ???resistance point to groundable point

放置在一個帶可接地點(diǎn)服裝表面上的電極與服裝可接地點(diǎn)之間電阻。

[來源：ESD ???ADV1.0-2017]

3.1.10

靜電消散??electrostatic?dissipation

帶電體上的電荷由于靜電中和、靜電泄漏、靜電放電而使電荷部分或全部消失的過程。

3.1.11

符合性驗(yàn)證?compliance (periodic)verification

驗(yàn)證已通過測試的產(chǎn)品、工程測試項(xiàng)目的技術(shù)指標(biāo)或有關(guān)要求是否符合現(xiàn)場要求的測試過程。

建議選擇下列范圍以內(nèi)的溫濕度測量儀：

3.2??縮略語

下列縮略語適用于本文件。

AC ???????——交流電(Alternating?Current)

BCP ?????——身體接觸點(diǎn)(Body Contact Point)

CPM ?????——充電平板測試儀(Charged Plate Monitor)

CAFé ??——恒定面積和壓力電極(Constant Area And Force Electrode)

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

各類電阻測試選擇滿足下列要求的電阻測試儀：

1. a) ????測試線的絕緣電阻應(yīng)大于1×1012Q, ??測試儀表的輸入電阻應(yīng)大于1012Ω;
2. b) ???儀器的測試量程應(yīng)在1×103Ω~1×1013Ω;
3. c) ???儀器電阻范圍1×10?Ω~1×10°Ω2時，最大允許誤差±5%;范圍1×10°Ω2~1×102Ω時，最

大允許誤差±10%,測試電壓滿足直流10V與100V。

如選擇人體綜合測試儀，開路電壓應(yīng)滿足不大于直流9V,??量程應(yīng)滿足5×10?Ω~1×101°Ω2。

4.2.3.2?測試電極類型

4.2.3.2.1?柱狀電極

點(diǎn)對點(diǎn)電阻?、?對可接地點(diǎn)電阻?、?對地電阻及服裝的點(diǎn)對可接地點(diǎn)間電阻測試所用電極為柱狀電極?，?電極結(jié)構(gòu)如圖1所示。柱電極直徑63.5mm±1.0mm; ????電極材料為不銹鋼或銅，電極接觸端材料導(dǎo)電?橡膠，邵氏A 硬度60HA±10HA, ???厚度3.0mm±0.3mm, ????體積電阻小于1×103Ω;電極單重2.5kg ?±0.25kg。

體積電阻使用的底部電極應(yīng)為一個不銹鋼、耐腐蝕的(非鋁)金屬板，并且足夠大以支撐樣品，并?應(yīng)裝配一個永久性連接端子(如插孔、鉚接的端子),不建議使用鱷魚夾。

單位為亳米

測試電纜

總質(zhì)量(2.5±0.25kg)

絕緣線(>1×10″Q)

 

絕緣層(>1×102)?金屬電極安裝底座

 

導(dǎo)電型電極

邵氏A硬度50HA～70HA

 

 

 

 

 

 

 

 

63.5±1.0

圖1?柱狀電極示意圖

4.2.3.2.2?同心環(huán)電極

該電極用于表面電阻及體積電阻測試，電極結(jié)構(gòu)如圖2所示。電極參數(shù)的導(dǎo)電橡膠邵氏硬度為?60??HA±10HA、厚度3.0mm±0.3mm, ??體積電阻小于1×103QΩ;?重量2.5kg±0.25kg; 內(nèi)柱狀電極?直徑φ30.5mm±1.0mm?、 環(huán)狀電極內(nèi)徑φ57.0mm±1.0mm?、 環(huán)狀寬度3.0mm±0.5??mm。

SJ/T?10694—2022

單位為毫米

測試電纜

總質(zhì)量(2.5kg±0.25kg)

絕緣線(>1×10°2)

 

絕緣層(>1×10)

金屬電極安裝底座

 

 

 

 

導(dǎo)電型電極邵氏A硬度50HA~70HA;3mm典型厚

 

 

 

 

 

 

 

 

3.0±0

 

圖2同心環(huán)電極示意圖

4.2.3.2.3兩點(diǎn)式探針電極

該電極零件布置及制造構(gòu)造見圖3-圖4,電極的材料見表1,可以使用等效部件。

表1兩點(diǎn)式探針電極材料參數(shù)表

材料項(xiàng)目 ????????????????????????物理指標(biāo)??????????????????????????????????示?例

聚四氟乙烯絕緣體 ?長度約25.4 mm直徑約12.7 mm ????????????????????????????一

電極護(hù)罩??????金屬管長約318mm直徑4.75mm?????????????????????????一

電極絕緣體 ????熱收縮聚四氟乙烯絕緣體或其他絕緣體 ?????????????????????????????一

銷?孔 ???????插座-帶焊罩 ????????????????????????????互連設(shè)備公司R-5-SC

銷?體 ????????彈簧銷力為：(43±0.1mm行程，4.6±0.5N。尖端工???互連件公司S-5-F-16.4-G?作卡住電極

電 極 ???????邵氏A?50?HA~70?HA????????????????????????????????????????????一

 

 

 

 

 

 

SJ/T??10694—2022

 

 

單位為毫米

圖3 ?兩點(diǎn)式探針電極構(gòu)造示意圖

圖 4??兩?點(diǎn) 式?探?針 電?極?構(gòu)?造?細(xì) 節(jié)?示?意?圖

4.2.3.2.4?手持電極

直徑25 mm, ?長度75mm?或更長的不銹鋼、黃銅或鍍銅圓形或管形把手，香蕉插接頭或旋鈕螺絲?連接到圓柱一端。

4.2.3.2.5 ?鱷魚夾平板電極

電極材料應(yīng)選用不銹鋼或銅片或其它金屬，制作成邊長25 mm?的正方形片狀電極，金屬片厚度大?于0?.5mm,???牢固焊接在鱷魚夾上，見圖5。

 

 

圖6?條形電極結(jié)構(gòu)連線示意圖

 

 

 

 

 

 

SJ/T??10694—2022

4.2.3.2.7?恒定面積的壓力電極

恒定面積的壓力電極示意圖如圖7所示，結(jié)構(gòu)詳見ANSIESD?????SP15.1-2011中圖1。

硬螺母?????????????橫桿

 

 

 

 

電極

六角螺母

 

螺紋桿

 

 

 

負(fù)重

 

 

 

 

 

 

圖7?恒定面積的壓力電極示意圖

4.2.4?其他測試儀器

4.2.4.1 ?接地電阻測試儀

接地電阻范圍0.1Ω~1000Ω,最大允許誤差±3%;測試線，接地探針均應(yīng)使用儀器自帶的配套?配件。對地電壓0.1V～200?V(50?Hz～60Hz), 最大允許誤差±1%。

如采用交流阻抗儀則范圍應(yīng)滿足：阻抗0.1Ω~100Ω,電壓0.1V~600V(頻率40/75Hz),???電?流?0.1A～120A,?最大允許誤差±1%。

4.2.4.2?帶電量測試裝置

帶電量測試裝置由法拉第筒和數(shù)字電量測試儀組成：

1. a) ????法拉第筒：內(nèi)外筒絕緣電阻、靜電電量表輸入端對地端電阻以及同軸電纜絕緣電阻均大于1×1012Ω;
2. b) ???數(shù)字電量測試儀：測試電荷量范圍為±2μC~±2nC,最大允許誤差±1%;
3. c) ????絕緣支架：聚四氯乙烯絕緣電阻大于1×1012Ω。

4.2.4.3?充電平板測試儀

CPM 包含一個可收集離子的標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)體平板，充電平板電壓范圍±(1～1100)V,MKIⅡ??電壓表模式?下電壓±(1～2000)V, ?靜電場強(qiáng)±(1～200)kV/m。導(dǎo)體平板尺寸150mm×150mm, ???接地面尺寸?大于150mm×150mm, ??極板對地電阻大于1×10??QΩ,平板對地電容20?pF。組裝示意圖見圖8,充電?平?板?平?面 圖 見 圖?9?。

8

 

 

 

 

 

 

SJ/T??10694—2022

 

 

 

 

數(shù)字萬用表選擇各量程檔應(yīng)滿足：

1. a)當(dāng)使用直流電阻范圍為1Ω~10 MΩ時，最大允許誤差±3%;
2. b) ???當(dāng)使用交流電壓范圍為1mV~100mV時，頻率45Hz~1kHz, ???最大允許誤差±3%;
3. c) ???當(dāng)使用交流電流范圍為1mA～50 mA時，頻率45 Hz~1 ?kHz,最大允許誤差±3%;

4.2.4.8?手持烙鐵漏電壓與漏電流測試的金屬板

在單面或雙面覆銅板(銅含量?一?般在57g) ??或?全?銅?板 (?厚?度?1?.?6mm) ???上用錫涂覆?一?小塊面積，用?于手持烙鐵頭做接觸。為保證測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，金屬板上的導(dǎo)線應(yīng)盡可能短。測試金屬板平面示意圖?見?圖?1?1?。

10

 

 

 

 

 

 

SJ/T ??10694—2022

 

 

 

 

 

 

 

 

測試項(xiàng)目	測試點(diǎn)位	服裝	提供可接地?點(diǎn)的服裝	提供腕帶及接地?系統(tǒng)的服裝
點(diǎn)對點(diǎn)電阻	左袖對左前襟(LS~LFP)	●	●	●
	左袖對右前襟(LS~RFP)	●	●	●
	左軸對左后襟(LS~LBPI	●	●	●
	左袖對言后襟(LS~RBP)			●
	左袖對右柚(LS~RS)		●	●
	兩身體接觸點(diǎn)之間(BCP~BCP)		O	●
點(diǎn)對可接地點(diǎn)間電阻	左前襟對可接地點(diǎn)(LFP~Gp)	一	●	●
	右前檬對可接地點(diǎn)RFP～Gp)		●	●
	東后對可接地點(diǎn)(LBP~Gp)			●
	右后襟對可接地點(diǎn)(RBP~Gp)			●
	左袖對可接地點(diǎn)(LS~Gp)		●	●
	右抽好可接地點(diǎn)RS~Gp)				●
	身體捷觸點(diǎn)對可接地點(diǎn)(BCP-GpI				●
服裝意壩	身休接觸點(diǎn)對可接地xBCP~Cp)				●
	穿著狀態(tài)下系績中阻(人體穿斷面~Gp			●
注1:LS左準(zhǔn)：RS右袖；LFP左首德：REP右前惚：LBP左后襟：RBP右后襟；BCP身體接觸點(diǎn)；Gp服裝可接 地點(diǎn)+Gitp服裝接地終止點(diǎn)；人體穿巖面為穿著狀態(tài)下接觸部分：BCP~Gp區(qū)分左右側(cè)。 注2:●表示選擇；O表示建議選擇；一表示不要求。服裝各測試點(diǎn)示意圖詳見圖14及圖15.

 

 

絕緣支架

 

2

120mm

10mm

 

 

 

100mm

 

 

標(biāo)引序號說明?：

1——固定式金屬圓筒測試探頭(直徑25mm);

2?—?—?可移動金屬圓筒測試砝碼(直徑25mm,?質(zhì)?量?為?0?.?1?1kg)。

圖13??腕環(huán)內(nèi)表面電阻測試示意圖

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

 

 

 

 

 

 

 

 

BCP???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????BCP

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

圖14?提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝正面測試點(diǎn)示意圖

 

 

 

圖15??提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝背面測試點(diǎn)示意圖

5.2.2.2?服裝點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試

將服裝平鋪測試臺表面，用測試線將電極和電阻測試儀連接好，并將電極分別放置于服裝的兩個袖?子上；電極擺放位置處，服裝上層面料與下層面料之間加墊絕緣片，絕緣墊的表面電阻要求阻值大于?1×1012Ω。測試服裝兩個衣袖外表面的點(diǎn)對點(diǎn)電阻?(BCP～BCP),?????測試示意圖見圖16。

 

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

 

 

電阻測試儀

 

 

9?????Q

 

 

 

 

柱狀電極

AND?INFO????????????????????????絕緣墊

服裝??????????????TYPJ

絕緣支撐板

 

 

 

 

 

圖16?服裝點(diǎn)對點(diǎn)電阻(BCP~BCP)測試示意圖

5.2.2.3?提供接地點(diǎn)的服裝對可接地點(diǎn)電阻測試

將服裝袖曲套在腕帶測試夾具裝置上，使用電阻測試儀，一端連接測試夾臭裝置；另一端連接服裝?可接地點(diǎn)進(jìn)行測試，測試示意圖見圖17

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Q

 

圖17?使用測試夾具測試提供可接地點(diǎn)的服裝示意圖

 

14???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????15

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

 

 

5.2.2.4??連體服電阻測試

連體服按FZ/T ?80012—2012 中7.2要求測試。

5.2.3??鞋底電阻測試

測試鞋子的鞋底電阻所使用的絕緣支撐板除滿足5.1.1要求外，絕緣電阻測試值應(yīng)大于1×1013Ω,?按?GB/T?31838.4—2019中的試驗(yàn)方法5測試。

用于測試的最少數(shù)量應(yīng)為1雙。施加在鞋上的電極負(fù)荷為(10±0.5)kg??？赏ㄟ^使用足夠柔軟的?絕緣袋子或尼龍襪并填充(10±0.5)kg?金屬珠(φ≤3mm) ?作為電極荷載，絕緣袋子或尼龍襪應(yīng)與鞋?底完全貼合。在鞋體(或鞋墊)的內(nèi)側(cè)上安裝導(dǎo)電電極，可以選擇鋁箔或銅箔電極，長度不小于400 mm,????寬度不小于20mm。?并選擇比鞋類更大的不銹鋼板作為鞋外底部電極(尺寸不小于150mm×300mm)。

電極與鞋外底的接觸電阻小于500Ω,將鞋放在不銹鋼底部電極上，測試示意圖見圖18。

將鞋底的內(nèi)表面的導(dǎo)電電極連接到電阻測試儀器上，測試儀器另一根導(dǎo)線連接到底部電極，內(nèi)電極?放置方式見圖19。對鞋施加上述規(guī)定的電極荷載后，使用電阻測試儀按照5.1.2要求測試鞋底電阻。

 

注：襪充滿金屬珠，多余部分放置在外面。

圖18?鞋底電阻測試示意圖

 

圖20 ?鞋束點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試示意圖

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

5.2.5??手套、指套兩點(diǎn)間電阻測試

按照5.2.18中的要求使用兩點(diǎn)式探針電極，測試手套、指套外兩點(diǎn)間電阻。

 

圖24 ?工作臺臺面點(diǎn)對點(diǎn)電阻(橫向)測試示意圖

 

圖?2?2??地?面?覆?蓋?物?樣?塊?的?點(diǎn)?對?點(diǎn)?電?阻?測?試?示?意?圖

18

 

 

 

 

 

 

SJ/T??10694—2022

 

 

電阻測試儀

柱狀電極

 

50m

 

50mm

臺面

 

 

 

 

 

 

 

 

圖25 ?工作臺臺面點(diǎn)對點(diǎn)電阻(對角線)測試示意圖

 

 

圖26 ?工作臺臺面點(diǎn)對點(diǎn)電阻(豎向)測試示意圖

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

20

電阻測試儀

 

臺?面

柱狀電極

50mm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

圖27”工作臺臺面點(diǎn)對點(diǎn)電阻(對角線)》測試示意圖

當(dāng)工作臺進(jìn)行可接地點(diǎn)電阻的測試時，按照圖28測試五個位置，五個測試位置分別位于工作臺表?面的四角和瓜何中心，電極邊緣距離接地點(diǎn)和工作臺表面邊緣符合以下規(guī)定：可接地點(diǎn)到電極邊緣應(yīng)大?于100mm,電極邊緣距工作臺面的邊緣大手100mm;??對圖28中測量位置2至5依次測量；對五個位?置的測試數(shù)據(jù)取算數(shù)平均值作為測量結(jié)果；

如果被測工作臺有多個可接地點(diǎn)，則對所有可接地點(diǎn)的應(yīng)依次連接，按照前面步驟依次測量，并分?別記錄每個回接地點(diǎn)的測量結(jié)果。

電阻測試儀

 

 

 

 

 

可?接?地?點(diǎn)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

圖28 ?工作臺臺面對可接地點(diǎn)電阻測試示意圖

5.2.9 ?存放架電阻測試

點(diǎn)對點(diǎn)電阻按照圖29的標(biāo)注位置擺放電極，按照5.1.2進(jìn)行測試。

 

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

 

 

 

電阻測試儀

2

 

 

 

 

 

 

 

3

 

 

 

 

圖29??存放架臺面點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試示意圖

帶接地點(diǎn)的存放架的對可接地點(diǎn)電阻按照圖30的標(biāo)注位置測試，不帶接地點(diǎn)的存放架的對可接地?點(diǎn)電阻按照圖31標(biāo)注位置測試。

 

 

圖30 ?存放架臺面對可接地點(diǎn)電阻測試(帶接地點(diǎn))示意圖

 

 

SJ/T?10694—2022

 

 

圖31?存放架臺面對可接地點(diǎn)電阻測試(不帶接地點(diǎn))示意圖

5.2.10??座椅、運(yùn)轉(zhuǎn)車電阻測試

座椅的點(diǎn)對點(diǎn)電阻按5.1.2要求測試，見圖32,對可接地點(diǎn)電阻測試測試時，腳輪下放置一塊??200 ??mm×200mm?金屬支撐板并良好接觸。一個電極與金屬支撐板接觸，另一個電極與椅面良好接觸，?分別測試椅面、椅背任一點(diǎn)的對地電阻值，應(yīng)至少測試2個腳輪，見圖33。

 

 

 

圖32?座椅點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試示意圖

 

 

 

 

 

23

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

 

 

 

 

圖34?運(yùn)轉(zhuǎn)車臺面點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試示意圖

SJ/T?10694—2022

 

 

圖35?運(yùn)轉(zhuǎn)車臺面對可接地點(diǎn)電阻測試示意圖

5.2.11?地面電阻測試

現(xiàn)場工程地面的對地電阻測試按照5.1.2要求，連線可以選擇就近?EBP, ?將柱狀電極放置于地面?表面并測試，見圖36,不宜選取距離地面周邊墻體、地面邊緣或接地金屬體不足1m 的測點(diǎn)。

測試選點(diǎn)以網(wǎng)格劃分，陣列方式選取，相鄰兩點(diǎn)間隔大于100 mm。

對面積不大于10m2的房間，選擇3個測點(diǎn)，對面積不大于20m2的房間，總測點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于6個，?測?點(diǎn)?分?布?應(yīng)?均?勻?。

對面積大于20m2~800m2的房間，每5m2~10m2 選取一個測點(diǎn)，測點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于6個。

當(dāng)面積在800m2~1200m2,??每10m2~12m2?選取一個測點(diǎn)，測點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于80到100個。

當(dāng)面積在1200m2?以上，每10m2~12m2 選取一個測點(diǎn)，測點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于120個，不多于200個。

如果是活動地板的工程地面，測點(diǎn)應(yīng)距離邊緣100 mm 以上，并盡量選擇跨接縫的測點(diǎn)；測試點(diǎn)對?點(diǎn) 電 阻?項(xiàng)?目?。

當(dāng)一個測試空間由多部分空間組成，應(yīng)考慮各分隔空間的溫濕度差異可能對測試結(jié)果的影響，需在?測?試?相?關(guān)?記?錄 中?予 以?體?現(xiàn)?。

 

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T??10694—2022

 

EBP

電阻測試儀

地面

0

 

 

 

柱狀電極

 

ND?????????INOR

RMAT

 

圖36?地面對地電阻測試示意圖

5.2.12 ?墻面電阻測試

墻面的對地電阻見圖37所示連線并擺放電極按照5.2.11選取測試點(diǎn)并測試

墻面

 

 

 

電阻測試

 

 

 

 

 

 

 

EBP

 

 

吉

 

圖37 ?墻面對地電阻測試示意圖

5.2.13?手持工具電阻測試

鑷子、工具鉗、毛刷等手持工具與電子產(chǎn)品接觸表面對手持端之間的點(diǎn)對點(diǎn)電阻參照5.1.2要求測?試，用兩個鱷魚夾平板電極連接工具接觸ESD 敏感設(shè)備的點(diǎn)與操作者的手接觸的點(diǎn)，測試點(diǎn)對點(diǎn)電阻，?見圖38。

測試毛刷的電阻時應(yīng)測試毛刷面至毛刷柄兩端間電阻。

SJ/T??10694—2022

 

 

 

 

圖38?工具鉗的點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試

5.2.14??手持烙鐵電阻測試

將萬用表的一端表筆接到手持烙鐵頭插頭的接地端，另一端表筆連接至手持烙鐵的工具頭部分，打?開萬用表電阻檔測試出結(jié)果，見圖39。

 

圖39?烙鐵頭對地電阻測試示意圖

5.2.15??防靜電蠟、劑電阻測試

將蠟、劑均勻涂敷在絕緣的基材上待干燥后測試蠟、劑的表面電阻，按5.1.2要求測試。

5.2.16??臺墊電阻測試

當(dāng)測試表面電阻時，將臺墊放置于絕緣支撐板上，面朝上；將同心環(huán)電極放置于臺墊表面，距離試?樣邊緣至少10mm,??按照5.1.2要求測試。

 

 

 

當(dāng)測試體積電阻時，底部電極放置于絕緣支撐板上；將臺墊放置于不小于試樣面積大小的底部電極?上，面朝上；將同心環(huán)電極放置在臺墊上表面，底部電極放置在臺墊下表面與同心環(huán)電極成同一軸向。?并按照5.1.2要求測試。

5.2.17??人/鞋/地系統(tǒng)電阻測試

該測試按照圖40連接好測試儀器，將電阻測量儀的一端引線連接到EBP?。把另一端引線連接到手?持電極。測試人員穿著防靜電服裝及防靜電鞋10 min?后站立地板上，牢固握住手持電極。測試電壓按?照5.1.2要求執(zhí)行。僅用左腳接觸地板覆蓋層，右腳抬起在高于地板覆蓋層約150mm 處，根據(jù)測試結(jié) 果記錄電阻值；僅用右腳接觸地板覆蓋層，左腳抬起在高于地板覆蓋層約150mm?處，根據(jù)測試結(jié)果記

 

注：測試時單腳落地。

圖40??人/鞋/地系統(tǒng)電阻測試示意圖

5.2.18??各類防靜電包裝電阻測試

袋狀包裝形狀應(yīng)為片狀、表面平坦的材料，樣品尺寸不小于100 mm×120 ???mm, ?或直徑不小于?110 ?mm。細(xì)小尺寸包裝試樣表面單向尺寸應(yīng)大于20 mm。

不同類型的防靜電包裝測試項(xiàng)目如表3所示。

表3?各類防靜電包裝測試項(xiàng)目表

 

產(chǎn)品類型	測試項(xiàng)目	圖示
包裝袋	表面電阻：包裝內(nèi)層、外層 體積電阻：包裝內(nèi)層對底部電極間	圖41
包裝盒	表面電阻：盒內(nèi)表面、盒外表面 體積電阻：盒內(nèi)表面對底部電極間	圖42
泡棉	表面電阻：頂表面、底表面 體積電阻：頂表面對底部電極問	一
載帶包裝	兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔、腔對腔 體積電阻：腔對底部電極間	一
熱成型和注塑托盤	兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔、腔對腔 體積電阻：腔對底部電極間	圖43
瓦楞紙板	表面屯阻：包裝內(nèi)層、外層 體積電阻：包裝內(nèi)層對底部電極間	一

表面電阻、體積電阻按5.2.16中的方法測試，見圖41～圖42。

兩點(diǎn)間電阻：測試電極接觸物表面，并向試樣方向下壓至電極伸縮彈簧至一半行程。電阻測試的步?驟按照5.1要求執(zhí)行，見圖43。

圖41?包裝袋表面電阻測試示意圖

 

 

圖42?包裝盒體積電阻測試示意圖

 

 

 

 

 

 

兩點(diǎn)式探針電極

92

熱成型和注塑托盤

 

 

 

 

絕緣支撐板

 

 

圖?4?3?熱成型和注塑托盤兩點(diǎn)間電阻測試示意圖

5.3?產(chǎn)品電阻符合性驗(yàn)證測試

5.3.1 ?腕帶穿戴狀態(tài)系統(tǒng)電阻測試

人員將手腕帶按正常穿戴狀態(tài)下佩戴好，保持腕帶和皮膚接觸良好；腕帶的插頭端和手持電極端分?別和電阻測試儀連接好，讀取電阻值，見圖44。

手持電極

 

重獄儀

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

連接線

 

圖44 ?腕帶穿戴狀態(tài)系統(tǒng)電阻的測試示意圖

5.3.2?腕帶插孔對地電阻

使用萬用表測試腕帶插孔對EBP 之間電阻，連接方法見圖45。測試位置距離EBP?較遠(yuǎn)時，可以使?用輔助測試線?，?測試值減去輔助測試線的電阻值即為腕帶插孔對地電阻?。

 

 

 

 

防靜電工作臺

 

 

EBP

 

 

 

 

萬用表

9

 

 

 

注：防靜電工作臺腕帶插孔連接EBP。

圖45??腕帶插孔對接地點(diǎn)電阻測試示意圖

5.3.3?等電位連接電阻測試

當(dāng)?EPA???內(nèi)其它防靜電裝備(如貨架、座椅、推車、地坪、傳輸帶等)均采用等電位連接方式連接時，?使用電阻測試儀測試防靜電裝備和設(shè)備保護(hù)接地極之間等電位連接電阻?。

工作臺的防靜電接地與設(shè)備保護(hù)接地共用一個接地樁時，見圖46所示連線并測試。

 

注：設(shè)備保護(hù)插座連接的安全保護(hù)接地與防靜電接地共用接地極。

圖?4?6??工?作?臺?等?電?位?連?接?電?阻?測?試?示?意?圖

31

 

 

 

5.3.4 ?帶可接地點(diǎn)服裝電阻測試

在測試前，測試人員應(yīng)將服裝至少穿戴10min, ?將接地線和穿戴者的電阻作為系統(tǒng)總電阻的一部分?進(jìn)行測試，可以使用專有集成測試儀或電阻測試儀進(jìn)行測試。使用接地線將衣服的接地點(diǎn)連接到測試儀，?通過集成測試儀上的按鈕或手持式電極與測試儀接觸，施加測試電壓并記錄結(jié)果。測試示意圖見圖47。

 

 

 

手持電極

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

可接地點(diǎn)

 

圖47?使用手持電極測試對可接地點(diǎn)電阻示意圖

5.3.5?人/鞋系統(tǒng)電阻測試

測試人員穿好防靜電鞋(鞋子和襪體、腳面皮膚接觸良好),鞋底和金屬支撐板接觸良好，并與地?面絕緣；手持電極和金屬支撐板分別和電阻測試儀測試端連接好；人手持電極，單腳踩在金屬支撐板上，?打開電阻測試儀開關(guān)，測試電壓按照5.1.2執(zhí)行，并讀取人/鞋系統(tǒng)電阻值；測試示意圖見圖48,重復(fù)?上述步驟測試另外一只腳的人/鞋系統(tǒng)電阻值要求。

當(dāng)選擇鞋束用于靜電防護(hù)時，使用鞋束裝配參照上述方法可測試人鞋束系統(tǒng)電阻值。

 

 

圖48??人/鞋系統(tǒng)電阻測試示意圖

當(dāng)采用人體綜合測試儀進(jìn)行測試，測試人員應(yīng)單腳站在導(dǎo)電的鞋電極上，手應(yīng)壓在試驗(yàn)裝置的測試?電極上，測試示意圖見圖49。

 

 

 

圖49?采用人體綜合測試儀進(jìn)行人/鞋系統(tǒng)電阻測試示意圖

5.3.6??手持工具與電子產(chǎn)品接觸面對地電阻測試

使用鉗子或鑷子手持工具進(jìn)行操作時，應(yīng)通過防靜電工作臺面或使用工具的人員實(shí)現(xiàn)接地，測試工?具與ESDS?電子產(chǎn)品接觸面的對地電阻。

33

 

5.3.7??包裝電阻符合性驗(yàn)證測試

包裝電阻符合性驗(yàn)證測試項(xiàng)目見表4。

表4?各類防靜電包裝符合性驗(yàn)證測試項(xiàng)目表

 

產(chǎn)品類型	測試項(xiàng)目
包裝袋	表面電阻：包裝內(nèi)表面層、外表面層
包裝盒	點(diǎn)對點(diǎn)電阻：盒內(nèi)表面、盒外表面
泡棉	點(diǎn)對點(diǎn)電阻：頂表面、底表面
載帶包裝	兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔
熱成型和注塑托盤	兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔
瓦楞紙板	包裝內(nèi)表面層、外表面層

5.3.8?傳輸帶對地電阻測試

傳輸帶的對地電阻測試按5.1.2要求測試，見圖50。

 

 

 

電阻測試儀

柱狀電極??????????????????99

 

 

=9

 

 

 

 

EBP

 

 

 

圖50?傳輸帶對地電阻測試示意圖

5.3.9??手持烙鐵對地電阻測試

烙鐵通電工作狀態(tài)下，使用萬用表一支表筆端接到烙鐵插頭接入的插座孔(地線端),另一支表筆?端連接至烙鐵的工具頭部分，打開萬用表電阻檔測試出結(jié)果。

5.3.10??防靜電接地電阻測試

采用電位降法測量防靜電接地電阻的依據(jù)是歐姆定律，測試值為交流阻抗值。首先測量接地樁對地?電壓，確定是否有對地電壓存在，對地電壓會導(dǎo)致接地電阻測量有較大誤差，如有干擾，則要關(guān)閉接地?設(shè)備電源后，再進(jìn)行測試。在測試中，接地釬選擇的位置應(yīng)避免大地土壤過于干燥或潮濕，影響測試結(jié)?果。測試連接線避免交叉纏繞，應(yīng)平鋪，在測量同時，輔助電極要回避工業(yè)回填土質(zhì)、垃圾、沙地、埋?有地?zé)峁艿赖耐恋氐?，?以免影響測試?。

接地電阻包括接地樁和接地連線兩部分。使用接地電阻測試儀測試，將儀器自帶的測試線連接“E”?和“P”、“C”?插孔端；然后將“E”端測試線連接接地樁引出點(diǎn)，將“P”、“C”端測試線分別連?接到兩個輔助電極上，兩個輔助電極按照儀器規(guī)定的測試距離插入地面，深度應(yīng)保證輔助電極整體沒入?地面。按儀器說明書要求操作儀器，測出接地樁電阻，見圖51。測量接地連線時，可使用數(shù)字萬用表測?試，可以按照5.3.2中的方法，測出?“EBP”?點(diǎn)與ESDS?防護(hù)設(shè)施接地點(diǎn)間連線的阻值R?。根據(jù)公式(1)?計算出防靜電接地電阻值R。

R=Ro+R??…?…?…????????????…?????????…… ???????????????????????????????…(1)

式?中?：

R ????——防靜電接地電阻，單位為歐姆(Ω);

Ro?——接地樁對地電阻，單位為歐姆(Ω);

R?——ESDS?????防護(hù)設(shè)施接地連線電阻，單位為歐姆(Ω)。

 

 

 

E

 

 

七

 

 

 

 

 

防靜電接地樁

 

 

 

a

說明：

C?????——連電流探棒；

P???——連電位探棒；

E???——連接地極探棒。

a???——位置和距離按說明書放置。

圖51??防靜電接地樁接地電阻測試示意圖

5.4?手持烙鐵漏電壓、漏電流測試

5.4.1?交流漏電壓測試

手持烙鐵漏電壓按下列步驟測試：

1. a) ????選擇萬用表AC檔位由高至低進(jìn)行測試，將負(fù)極表筆接地或與設(shè)備共地連接，正極表筆與手持烙鐵頭共同接觸測試電極金屬板，見圖52;
2. b) ?????將手持烙鐵頭擦干凈，手持烙鐵接上插座，通電并升溫至工作溫度；
3. c)手持烙鐵頭壓在測試電極金屬板的錫焊部位，保證良好接觸；
4. d) ?????從萬用表直接讀取電壓值。

35

 

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T ???10694—2022

 

L??????——火 線?；

SW——開關(guān)。

圖53?手持烙鐵漏電流測試示意圖

 

 

 

SJ/T????10694—2022

說明?：

PE ——地線

N??——零線

L???——?火線

SW——開關(guān)

插頭端連接設(shè)備保護(hù)插座；插座端連接帶負(fù)載焊接工具的插頭

圖54??漏電流測試裝置連接示意圖

5.5??離子化靜電消除器的測試

5.5.1??測試基本要求

消散時間測試時，測試儀器的導(dǎo)電板應(yīng)充電至初始測試電壓，并使其衰減至初始測試電壓的10%。?對于初始充電的正負(fù)兩個極性，都應(yīng)監(jiān)控并記錄所需的時間。

在殘余電壓測試時，導(dǎo)電板應(yīng)立即接地，以消除任何殘留電荷，并確認(rèn)測試儀器裝置電壓監(jiān)控為零。?然后按照下面各圖所述的步驟測試。

如果選擇不同類別的電離器，則所有測試均應(yīng)使用相同的測試電壓，即±1000V。

各類離子化靜電消除器測試放置時應(yīng)根據(jù)示意選擇適宜的平面或平臺。

如另有要求，離子化靜電消除器的殘余電壓絕對值技術(shù)指標(biāo)可以參照客戶委托。

5.5.2??測試環(huán)境

測試區(qū)域內(nèi)沒有大面積接地導(dǎo)體，測試區(qū)域的環(huán)境不得有擾動氣流和高壓電源。

5.5.3??測試位置和測量時間

應(yīng)按照測試位置表5和相應(yīng)位置示意圖中規(guī)定的每個測試位置/點(diǎn)?(TP), ?????測量消散時間和殘余電?壓。消散時間和殘余電壓應(yīng)在相同條件下測量，兩個參數(shù)測試期間不應(yīng)對設(shè)備進(jìn)行任何調(diào)整，每次測量?應(yīng)?保?證?一?定 時 間 的 間?隔?。

 

 

 

 

 

37

 

 

 

表5??測試設(shè)置和測試位置/點(diǎn)

 

設(shè)備類別	應(yīng)用形式類別	測試位置的數(shù)量	測試位置參考圖
臺式	臺面離子化系統(tǒng)	12	圖 5 5
高架		12	圖56、圖57
槍和噴嘴	離子槍	1	圖58
電離輻射電離		按儀器使用說明	一
交流格柵	全室離子化系統(tǒng)	2	圖59
離子棒(脈沖和直流)		2	圖59
單極性離子發(fā)射器		3	圖60
穩(wěn)態(tài)直流線路			圖61
脈沖交流發(fā)射器			圖62
垂直	單向流工作臺離子化系統(tǒng)		圖63
水平			圖64

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

圖55 ?臺式離子化靜電消除器的測試位置——俯視圖

應(yīng)定向測量TP5?和?TP8?測試位置的氣流。

注：高架離子發(fā)生器在測試區(qū)域中心。

圖56??頂置電離器的測試位置——俯視圖

 

 

 

圖57?頂置電離器的測試位置——側(cè)視圖

當(dāng)使用壓縮氣體的電離器(槍和噴嘴)時，氣體輸入壓力除非另有規(guī)定，否則建議為200 kPa,?測??試距離為15cm。?也可根據(jù)用戶實(shí)際使用的氣體輸入壓力和距離進(jìn)行測試。壓縮氣體的電離器的殘余電?壓應(yīng)在至少10s?內(nèi)測量，保持讀數(shù)穩(wěn)定。最大值不得超過1min。

 

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

 

交流格柵(陰影區(qū)域，覆蓋率小于100%)和脈沖或穩(wěn)態(tài)直流條的示例?TP1 直接位于柵格或條形下，而TP2?位于柵格或條形中心

圖?5?9??室?內(nèi)?電?離?系?統(tǒng)?的?測?試?位?置?—?—?交?流?電?網(wǎng)?和?直?流?條?系?統(tǒng)

SJ/T?10694—2022

 

TP3

 

 

 

TP2

 

圖60?室內(nèi)電離系統(tǒng)的測試位置——單極性發(fā)射器系統(tǒng)

 

 

發(fā)射器

 

TP2

一

 

 

圖61?室內(nèi)電離系統(tǒng)的測試位置——穩(wěn)態(tài)直流線路系統(tǒng)

 

 

發(fā)射器

 

TP1/

m2

 

圖62?室內(nèi)電離系統(tǒng)的測試位置——脈沖交流發(fā)射器系統(tǒng)

 

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T??10694—2022

 

15cm???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????15cm

后面

 

TP6

 

 

 

TP3

充電板

 

 

TP1

前頂端

測試點(diǎn)中心線

圖63 ?垂直層流罩的測試位置——俯視圖

應(yīng)測量1p4.0?試位置的風(fēng)速。

 

高速過濾器

高子發(fā)生

15cnl

 

 

 

 

 

 

氣流方向

TP3

 

充電板

TP1

 

測試點(diǎn)中心線?????????????????????前頂端

注：離子發(fā)生器形式是網(wǎng)格或條。

圖64??水平層流罩的測試位置——俯視圖

5.6??防靜電工作區(qū)物品表面電壓測試

測量非導(dǎo)體表面電壓通常使用非接觸式靜電電壓測試儀，為防止周圍環(huán)境中其它電磁場干擾測試?結(jié)果，應(yīng)將測試儀外殼接地屏蔽。非接觸式電壓測量儀器在使用時，對被距物有特定的測試距離要求。?測試人員根據(jù)測試項(xiàng)目和儀器說明書選擇合適的距離和電壓檔位進(jìn)行測試。測試示意圖參見圖65。

防靜電接料膠帶、防靜電耐高溫膠帶的表面靜電壓和剝離電壓的測試方法分別按照GB/T?33375一?2016中7.2和7.3測試。

SJ/T??10694—2022

 

圖65??非接觸式靜電電壓測試儀測試物品表面電壓示意圖

5.7 ?人體電壓測試

防靜電地板需要提供接地端，測試人員穿好防靜電鞋，并保持鞋子穿牢；手持電極和靜電電壓測試?儀連接，測試儀接地；測量前應(yīng)盡量采用技術(shù)手段消除鞋與地板的殘余靜電荷。

測試前，人員手握電極，站立在防靜電地板上，并迅速觸碰接地點(diǎn)，使系統(tǒng)歸零。整個測試過程中，?測試人員要在前后走動時要覆蓋盡可能多的面積，使身體保持相同的朝向，但要避免劃傷或旋轉(zhuǎn)地板。?并以每秒2步的速率在防靜電地板上走動，邁步的動作要使鞋底與地板保持平行，鞋抬起高度在50mm???至80 mm?之間，測試人員距墻壁或室內(nèi)障礙物應(yīng)大于0.5m。按照圖66的行走模式的先后順序行走，?每次行走循環(huán)回到啟停位置時暫停2s, 每周期時間以60s?為準(zhǔn)，測試示意圖見圖67。測量時地板與接??地系統(tǒng)和接地線不能接觸。測試人員對每個鞋和防靜電地板組合按照上述測試步驟測試3次，當(dāng)遇到不??同類型的地板時，每個類型的地板應(yīng)獨(dú)立測試。在已安裝完畢的地板工程現(xiàn)場測試中，人體電壓測試應(yīng)??重復(fù)測試5次。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

43

 

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T ???10694—2022

 

圖67?人體電壓測試示意圖

通過計算機(jī)獲取得測試曲線，并根據(jù)儀表記錄的峰值電壓絕對值，由實(shí)際測量情況分別取每次測試?中5個最高峰值的算數(shù)平均值及5個最大谷值的算數(shù)平均值，見圖68;當(dāng)負(fù)峰值大于正峰值(絕對值)時，?應(yīng)采取五個最高負(fù)谷、五個最高負(fù)峰計算算術(shù)平均值，見圖69;當(dāng)一次記錄中同時存在正負(fù)數(shù)據(jù)點(diǎn)且?正負(fù)數(shù)據(jù)點(diǎn)的大小沒有明顯區(qū)別。應(yīng)針對五個最高正谷、五個最高正峰、五個最高負(fù)谷和五個最高負(fù)峰??分別計算算術(shù)平均值。

SJ/T ???10694—2022

 

 

圖68??截取正峰值的測試曲線示意圖

 

 

單位：V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

單位：秒

10 ????????????????????????20 ???????????????????????30 ???????????????????????40

 

圖69 ?截取負(fù)峰值的測試曲線示意圖

5.8??手持工具鉗電荷消散特性測試

整個測試過程保持工具鉗的干燥。戴上腕帶并將其連接到接地端子，將充電平板測試儀的導(dǎo)電板充?電至1100V, ??斷開高壓電源與充電板的連接，用手持工具鉗如下圖70觸摸充電板，記錄從1000V?到?100V?的消散時間后抬起手持工具鉗。重復(fù)上述步驟兩次共測試3次。測試過程中手指不得接觸充電板?及手持工具金屬部分。

該測試方法適用于評價依靠靜電電荷消散的均質(zhì)材料物品及細(xì)小件個體、不規(guī)則形狀的防靜電材?料包裝的靜電電荷消散能力。也可以佩戴指套或佩戴手套分別測試評價相應(yīng)的電荷消散能力。

 

 

 

 

 

45

 

 

 

公共接地點(diǎn)

 

 

 

 

充電平板測試儀

 

 

 

手持工具鉗

 

INPO

 

腕??????帶

 

 

 

圖70?手持工具鉗電荷消散特性測試示意圖

5.9 ?靜電放電屏蔽測試

屏蔽包裝袋的靜電放電屏蔽按下列步驟測試：

4. a) ???按照1.1試驗(yàn)環(huán)境相對濕度最低要求，將屏蔽包裝袋預(yù)處理；
5. b)在屏蔽包裝袋內(nèi)部幾何中心位置放置平行板電容電極，并確保測試儀器的放電極、接地極與屏蔽袋的表面以及袋內(nèi)的電容電極接觸良好如圖71所示；
6. c) ???設(shè)置示波器顯示脈寬，如果不能夠完整顯示放電波形，則應(yīng)調(diào)整示波器的脈寬設(shè)置；
7. d)設(shè)置模擬器充放電電壓為1kV;
8. e)閉合模擬器開關(guān)，模擬器給放電電極放電，用電流鉗和示波器采集流經(jīng)5002高壓電阻的電流波?形
9. f) ????傳輸示波器顯示的波形數(shù)據(jù)到計算機(jī)，根據(jù)流過500Ω高壓電阻上面的電流波形進(jìn)行屏蔽能量計算。計算方法如下

1)將示波器讀取到的電流波形積分；

2)計算每個積分采樣點(diǎn)的電流平方；

3)按公式(2)計算屏蔽能量。

E=R×t×2:-11.:-?…?…?…?…?…?…?…?…?…?????????????????????????…(2)

式?中 ：

E——屏蔽能量，單位為焦耳?(J);

R——500 ?Ω高壓電阻的實(shí)際阻值，單位為歐姆(Ω);

T——?示波器采樣時間間隔，單位為秒(s);

I;——示波器第i?次采集得到的電流值，單位為安培?(A);

n——采樣點(diǎn)總個數(shù)，單位為個。

1. g) ???重復(fù)c)～f)的測試步驟，每個樣品屏蔽能量連續(xù)測量三次，并保證兩次測試間隔時間在30s ?以上。每次測試確保平行板電容探極的剩余電荷釋放掉。

 

圖71?靜電放電屏蔽能量測試示意圖

5.10??服裝帶電電荷量測試

服裝帶電電荷量的測試方法按照GB ??12014—2019 附錄B 要求測試。測試儀器要求詳見4.2.4.2, 測試裝置示意圖見圖72。

 

 

圖72?服裝帶電電荷量測試示意圖

 

 

 

 

 

 

SJ/T?10694—2022

附??錄?A

(規(guī)范性)

各類防靜電產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)

 

表A.1~?表?A.4 ?技術(shù)指標(biāo)參數(shù)作為防靜電測試方法測試判定的依據(jù)，當(dāng)進(jìn)行產(chǎn)品測試和符合性驗(yàn)證?測試時可參照執(zhí)行。

表?A.2?、?表?A.3?、?表?A.4 ??中使用的符號為：Rpp 點(diǎn)對點(diǎn)電阻；Rg對地電阻；Rgp對可接地點(diǎn)電阻；?Rpgp 點(diǎn)對可接地點(diǎn)間電阻；Rs表面電阻；Rv體積電阻；R ??兩點(diǎn)間電阻；tsa靜電消散時間。

考慮帶電器件模型(CDM) ??損壞靜電敏感器件產(chǎn)品和人員安全時，點(diǎn)對點(diǎn)電阻、地面點(diǎn)對地電阻最?低限值應(yīng)不小于1×10’Ω.

表A.1??接地/連接技術(shù)要求

 

技術(shù)要求	實(shí)施方法	要求限定
接地/連接系統(tǒng)	保護(hù)接地	國家電力規(guī)范限值
	功能接地	國家電力規(guī)范限值
	等電位連報	任何防靜電裝備與安全保護(hù)連接點(diǎn)之間的最大電阻小于1.0×10°Ω

表A.2人員接地技術(shù)要求

 

應(yīng)用系統(tǒng)	濺試廈目	產(chǎn)品測試指標(biāo)	符合性驗(yàn)證
手腕帶系統(tǒng)	腕帶穿戴狀態(tài)系統(tǒng)電阻		R<35×10’Ω
人/鞋/地系統(tǒng)	人體電壓	絕?對?值?<?0?0?v
	/鞋/地系統(tǒng)電照	R<1.0×102	R<1o×10°Ω
人/鞋系統(tǒng)	人/鞋系續(xù)電阻	一	R:<1.0×10°Ω
對于站立操作的工作人員可以通過腕帶系統(tǒng)或人/鞋/地系統(tǒng)接地。當(dāng)使用人/鞋/地板系統(tǒng)，人員雙腳應(yīng)穿防靜電鞋?類并滿足以下兩種條件： a)該系統(tǒng)的總電阻(從人通過鞋和地板接地)應(yīng)小于1×10°Q; b)產(chǎn)生人體電壓最大值應(yīng)小于100V.當(dāng)采用鞋束接地方式同樣應(yīng)遵循上述要求

表A.3??防靜電工作區(qū)所用各類防靜電裝備(用品)技術(shù)指標(biāo)

 

測試項(xiàng)目		產(chǎn)品測試指際	符合性驗(yàn)證
腕帶連線電阻		.8×10°0~1.2×10°Ω	0.8×10°Ω~1.2×10°Ω
腕環(huán)	內(nèi)表面電阻	<1.0×10Ω
	外表面電阻	>1.0×102Ω	一
腕帶插孔對地電阻		一	R.<2Ω
鞋底電阻		R.<1.0×10°Ω	見人/鞋系統(tǒng)
鞋束電阻		Ro。<1.0×10°Ω	見人/鞋系統(tǒng)
座椅、運(yùn)轉(zhuǎn)車		R?,<1.0×10°Ω R.<1.0×10°Ω	R,<1.0×10°Ω
工作臺、存放架、存放柜表面		R?,<1.0×10°Ω R?<1.0×10°Ω	R.<1.0×10°Ω
傳輸帶		一	R.<1.0×10°Ω
地板或地坪類工程地面、墻面		一	R?<1.0×10°Ω

 

SJ/T??10694—2022

表A.3?(?續(xù)?)

 

測試項(xiàng)目		產(chǎn)品測試指標(biāo)	符合性驗(yàn)證
地面覆蓋物樣塊		R?,<1.0×10°Ω R.<1.0×10°&	一
離子化靜電消除器		消散時間 (±1000V~±100V) L<20s	消散時間 (±1000V~±100V) L.<20s
		殘余電壓絕對值小于35V?或客戶自定義	殘余電壓絕對值小于35V?或客戶自定義
服裝	服裝	R,<1.0×10″Q	R,<1.0×10″Ω
	提供接地點(diǎn)服裝	R,,<1.0×10°2 R<1.0×10°Ω	Ro,<1.0×10°Ω Ra<1.0×10°Ω
	帶腕帶接地系統(tǒng)服裝	Ro?<1.0×10°Ω2 Rm<1.0×10°Ω 人穿著下Rm<3.5×10Ω	Ro<1.0×10°Ω Rm<1.0×10°Ω 人穿著下R,<3.5×10°Ω
手套、指套		R.。<1.0×10°Ω?R.<1.0×10°9	穿戴時R?<1.0×10°Ω
工位器具、毛刷、鑷子等		R,<1.0×10°0	操作中R?<1.0×10°Ω
手持烙鐵		烙鐵頭對地電阻<2Ω	烙鐵頭對地電阻<10Ω
		烙鐵頭泄漏電壓<20mV
		烙鐵頭泄漏電流<10mA
防靜電蠟、防靜電膠		R.<1.0×10°Ω	一
臺墊		R,,<1.0×10°Ω R?<1.0×10°Ω	R?<1.0×10°Ω
防靜電接地電阻		<10Ω	<10Ω
物品表面靜電電壓	孤立導(dǎo)體	一	<35V或客戶自定義
	防靜電材料	一	<100V或客戶自定義
	絕緣材料	一	客戶自定義
服裝帶電電荷量		≤0.60?μC	一

表A.4??包裝技術(shù)要求

 

技術(shù)要求		測試項(xiàng)目	產(chǎn)品檢測指標(biāo)
電阻特性
包裝(箱、盒)	靜電耗散型	表面電阻	1.0×10?≤R.<1.0×10″Q
		體積電阻	1.0×10?≤R<1.0×10″Ω
		兩點(diǎn)間電阻	1.0×10?≤R?<1.0×10″Ω
	導(dǎo)靜電型	表面電阻	R.<1.0×10? Ω
		體積電阻	R.<1.0×10°Ω
		兩點(diǎn)間電阻	R?<1.0×10’Ω
	屏蔽型	靜電放電屏蔽能量	<20nJ

 

 

48

 

 

 

 

 

 

 

SJ/T ???10694—20

專??文 ?獻(xiàn)

 

術(shù)語

夫受控環(huán)境靜電控制技術(shù)指南?靜電地坪涂料通用規(guī)范

Measurement?methods?-Ability?of?materials?and?products?to?dissipate?static

 

-2-3?Methods?of test?for?determining?the?resistance?and?resistivity?of solid?materials

static??charge??accunulation

c ?61340-4-1 ?Standand ?test ?methods ?for ?specific ?applications-Electrical ?resistance ?of ?floor

nd?installed?floors

IEC ?????61340-4-3·Standard?test?methods ?for ?specific?applications?Footwear

[8]IEC??61340-4-5??Standard ?test ?methods ??for ??specific??applications??-Methods??for??characterizing?the electrostatic protection of?footwear and flooring in combination with?a person

[9] ???????IEC??61340-4-6??Standard ?test??methods??for??specific??appications-Wnst??straps

[10]IEC ??61340-4-8:2014 ???Standard ???tast ??methods ???for ???specific ??applications-Electrostatic

Discharge ???Shietding-Bags

[11]???IEC ?61340-4-9 ?Standurd ?test ?methods ?for ?specific ?applications ?-Garments

[12] ??IEC ???61340-5-1????Protection?of?electronic?devices?from?electrostatic?phenomena?-General?requirements

[13]IEC??TR??61340-5-2??Protection??of??electronic??devices??from??electrostatic??phenomena-User

guide

[14]IFC ?????????61340-?5-3 ?Protection ?ofelectronic ?devices ?from ?electrostatic ?phenomena-Properties?and?Requirement?clastfication?for?packaging?intended?for?electrostati?discharge?sensitive?devices

[15]IEC??TR??61340-5-4 ?Protection ??ofelectronic??devices??from??electrostatic ?phenomena-Compliance?verification

[16]ESD ??ADV?.0-2017 ???for ???Electrostatic ??Discharge ???Teminology ???Glossory

[17]ANSIESD??STM2.1??For??the??Protection??ofElectrostatic??Discharge??Susceptible??ftems??Garments

[18]ANSIESD ??STM4.1 ??For ??the ??Protection ??ofElectrostatic ??Discharge ??Susceptible ??Items?Worksurfaces-Resistance?Measurements(Including?Shelving?and?Mobile?Equipment)

[19]ANSIESD ??STM9.1 ??For ??the ??Protecion ??ofElectrostatic ??Discharge???Susceptible???Items?Footwear-Resistive??Characterization(excluding??foot??grounders)

[20]ESD??SP9.2??for??the??Protection??of ?Electrostatic??Discharge ??Susceptible??Items??Footwear-Foot?Grounders?Resistive?Characterization(not to?include?static?control?shoes)

[21]ANSIESD??STM11.31??For??the??Evaluating??the??Performance??of ?Electrostatic??Discharge

Shielding ???Materials-Bags

[22]ANSIESD??STM13.1??For??the??Protection??of ?Electrostatic??Discharge ??Susceptible??ltems?Electrical?Soldering/Desoldering Hand Tools

[23]ANSIESD??S20.20 ?For ?the ?Development??of ?an??Electrostatic??Discharge??Control??Program??for????Protection ??of??Electical ??and ??Electronic ??Parts,Assemblies ??and???Equipment(Excluding???Eletrially???hifated?Explosive Devices)

[24]ANSIESD??TR53-01??For??the??Protection??of ?Electrostatic ??Discharge ??Susceptible??Items-

SJ/T???10694—2022

Compliance Verification of?ESD Protective Equipment and Materials

[25] ??ANSI/ESD STM97.1 For?the Protection?of Electrostatic?Discharge?Susceptible?Items?Footwear/Flooring?System-Resistance?Measurement?in?Combination with?a?Person

[26] ??????ANSI/ESD?STM97.2?For?the?Protection?of Electrostatic?Discharge ?Susceptible?Items?Footwear/Flooring?System-Voltage?Measurement?in?Combination with?a?Person

[27] ??????ANSI/ESD?S541?For?the?Protection?of?Electrostatic?Discharge?Susceptible?Items?Packaging?Materials

 

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