ICS ?91.200?CCS ?M04
團(tuán)????體????標(biāo)????準(zhǔn)
T/ESD??2004—2023
防靜電接地通用規(guī)范
Geneural specifications?of?ESD grounding
2023?–?6?–?25?發(fā)布 ???????????????????????????????????????2023?–?7?–?1?實(shí)施
上海防靜電工業(yè)協(xié)會(huì) ??發(fā) 布
T/ESD 2004—2023
目????次
1?范圍? ?1
2 規(guī)范性引用文件? ?1
3?術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)? ?1
4?人員安全? ?2
5?接地系統(tǒng)要求? ?2
5.1?概述? ?2
5.2?防靜電接地極接地系統(tǒng)? ?2
前??言
本文件按照?GB/T 1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 ?第 1?部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。
請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。
本文件由上海防靜電工業(yè)協(xié)會(huì)提出并歸口。
本文件起草單位：上海騰甲防靜電科技有限公司、上海創(chuàng)紀(jì)科技發(fā)展有限公司、?上海晨隆靜電科技有限公司、上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司、北京東方計(jì)量測(cè)試研究所、上海精密計(jì)量測(cè)試研究所、廣州秀珀化工涂料有限公司、上海青瑩電子科技有限公司、上海佰潔靜電檢測(cè)技術(shù)中心、廈門(mén)永平堂靜電工程有限公司、蘇州亨達(dá)洋靜電技術(shù)有限公司、深圳市中明科技股份有限公司、上海佰斯特電子工程有限公司、蘇州鴻博斯特超凈科技股份有限公司、蘇州華瑞塑膠電子有限公司、中山市榮業(yè)化工原料有限公司、上海航天電子有限公司、上海啟永電子設(shè)備有限公司、上海仕原智能科技有限公司、浙江圣威裝飾科技有限公司、東莞市高知建筑裝飾材料有限公司、蘇州佳普斯信息科技有限公司、上海聞朗新材料科技有限公司、上海市計(jì)算機(jī)行業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十研究所。
本文件主要起草人： 張明、徐斌、任光輝、畢戈雄、黃建華、劉清平、包曉峰、程啟朝、花吉珍、李代勇、徐迎黨、尹永紅、陳國(guó)安、陳陣、俞旭濤、王磊、李天榮、高知喻、劉衛(wèi)鵬、韓科勇、夏明偉、劉清堂、朱雪梅、裘維東、鮑志林。
防靜電接地通用規(guī)范
1??范圍
本文件規(guī)定了靜電敏感電子產(chǎn)品在生產(chǎn)、加工、存儲(chǔ)、運(yùn)輸和使用維護(hù)過(guò)程中為防止靜電放電采用接地形式泄放靜電荷的聯(lián)接和要求。
本文件適用于防靜電接地的設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢測(cè)與驗(yàn)收、運(yùn)行維護(hù)。
本文件不適用于易燃、易爆場(chǎng)所的接地。
2 ?規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
本文件沒(méi)有規(guī)范性引用文件。
3 ?術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1 ?術(shù)語(yǔ)和定義
3.1.1
防靜電接地 ESD grounding
為達(dá)到靜電放電防護(hù)目標(biāo)，通過(guò)合適的材料實(shí)現(xiàn)與大地可靠的連接。
3.1.2
公共接地點(diǎn)?common ground point
又稱接地端子，連接兩個(gè)或多個(gè)ESD防護(hù)物品的導(dǎo)體的接地裝置或位置。
3.1.3
公共連接點(diǎn)?common connection point
連接兩個(gè)或多個(gè)ESD防護(hù)物品的導(dǎo)體的裝置或位置，通過(guò)等電位連接使ESD防護(hù)物品處于相同的電位。?3.1.4
防靜電接地極?earthing electrode for electrostatic discharge (ESD)
除保護(hù)地之外的與大地連接起來(lái)的專為靜電防護(hù)而設(shè)的接地極。
3.1.5
等電位連接 equipotential bond
導(dǎo)電部件（或用于控制靜電放電的部件）的電氣連接，使其在正常和故障條件下處于基本相同的電位。
3.1.6
安全保護(hù)地 safety grounding device
簡(jiǎn)稱安全地，也稱保護(hù)地。為安全目地，連接設(shè)備或設(shè)施至大地的接地系統(tǒng)。
3.1.7
軟接地 soft grounding
使物體通過(guò)一個(gè)足夠高的阻抗接往大地，以便發(fā)生觸電事故時(shí)把電流限制在人身安全電流之下。
3.2 ?縮略語(yǔ)
3.2.1 EPA——防靜電工作區(qū)。
3.2.2 ESD——靜電放電。
3.2.3 EBP——接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)。
4??人員安全
本文件不能取代或代替任何其他關(guān)于人員安全的規(guī)定。應(yīng)采取減少電氣危害的措施，?并遵循設(shè)備的正確接地說(shuō)明。
5 ?接地系統(tǒng)要求
5.1 概述
EPA 內(nèi)操作靜電敏感器件/組部件的場(chǎng)所中所有設(shè)施設(shè)備、人員都應(yīng)該實(shí)現(xiàn)接地。接地連接到公共接地點(diǎn)上。該公共接地點(diǎn)應(yīng)根據(jù)使用場(chǎng)所的條件和技術(shù)要求，從下列選項(xiàng)中選擇合適的接地方式。
5.2?防靜電接地極接地系統(tǒng)
防靜電接地極接地系統(tǒng)一般由接地極分系統(tǒng)、連接線（干線、支線）、接地點(diǎn)、接地導(dǎo)體等組成，具體見(jiàn)圖?1。
接地極分系統(tǒng)
公共接地點(diǎn)???????????????????孤立導(dǎo)體
手腕帶?????????防靜電臺(tái)面
圖?1 ?防靜電接地極接地系統(tǒng)的聯(lián)接
采用防靜電接地極接地系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)選取系統(tǒng)中的公共接地點(diǎn)與保護(hù)地的等電位體進(jìn)行聯(lián)接，連接點(diǎn)之間的電阻應(yīng)小于?25Ω。以保證系統(tǒng)與保護(hù)地連接的設(shè)備與工具等之間處于等電位狀態(tài)。
5.3 安全保護(hù)地接地系統(tǒng)
5.3.1?在?EPA?內(nèi)，當(dāng)存在?TN-S?或?TN-C-S?供電系統(tǒng)時(shí)，具有的安全保護(hù)地可作為防靜電接地極進(jìn)行接地系統(tǒng)連接。
注： TN 系統(tǒng)：電力系統(tǒng)有一點(diǎn)直接接地，電氣裝置的外露可導(dǎo)電部分通過(guò)保護(hù)線與該接地點(diǎn)相連接。根據(jù)中性導(dǎo)體(N)和保護(hù)導(dǎo)體(PE)的配置方式，TN 系統(tǒng)可分為如下三類：
1、TN-C 系統(tǒng)，整個(gè)系統(tǒng)的 N、PE 線是合一的。
2、TN-C-S 系統(tǒng)，系統(tǒng)中有一部分線路的 N、PE 線是合一的。
3、TN-S 系統(tǒng)，整個(gè)系統(tǒng)的 N、PE 線是分開(kāi)的。
（GB 50052?-2009 供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范）
5.3.2?當(dāng)使用該接地系統(tǒng)時(shí)，EPA?內(nèi)的交流設(shè)備、工具以及保護(hù)地和所有防靜電設(shè)施設(shè)備共處于相同的電位。見(jiàn)圖?2。
安全保護(hù)地
防靜電地板 ???????????????公共接地點(diǎn) ???????????????????孤立導(dǎo)體
手腕帶?????????防靜電臺(tái)面
圖?2 ?安全保護(hù)地接地系統(tǒng)的聯(lián)接
5.4 等電位聯(lián)接
在現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)、操作和處理某些?ESD?敏感元件情況時(shí)，可能無(wú)法接到大地時(shí)，可采用等電位聯(lián)接，將所有的防靜電設(shè)施設(shè)備、操作人員和使用中的電氣設(shè)備進(jìn)行聯(lián)接，使全部物品之間的電位均衡。見(jiàn)圖?3。
公共連接點(diǎn)??????????????????????貨架
手腕帶?????????防靜電臺(tái)面
圖?3??等電位聯(lián)接
6?技術(shù)要求
6.1 接地極分系統(tǒng)
6.1.1?防靜電接地極接地系統(tǒng)設(shè)施應(yīng)具有接地極分系統(tǒng)，以便對(duì)靜電荷進(jìn)行泄放時(shí)提供一個(gè)到大地的低阻抗通路，確保?EPA?內(nèi)不發(fā)生靜電放電。
6.1.2?在接地極分系統(tǒng)設(shè)計(jì)施工之前，應(yīng)對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的土壤電阻率進(jìn)行勘測(cè)和測(cè)量并記錄。自然特性如巖層、地下水以及人造地貌的特性對(duì)電阻率的影響，這些數(shù)據(jù)應(yīng)作為接地極分系統(tǒng)設(shè)計(jì)施工資料的一部分。
6.1.3?接地極分系統(tǒng)對(duì)大地直流電阻應(yīng)不大于?4?Ω。對(duì)于土壤電阻率大，達(dá)不到?4?Ω以下（包括?4Ω)時(shí)，可以考慮下列辦法（但不限于此），以減小大地電阻：
6.1.4?基本的接地極分系統(tǒng)由多根打入地下的接地極組成，接地極沿設(shè)施構(gòu)筑物的四周距滴水溝外側(cè)600?mm～1800?mm?的地方均勻分布，在距地面至少?600?mm?深的地方，接地極間用?40?mm×4?mm?鍍鋅扁鋼或?30mm?×3mm?紫銅排相互連接起來(lái)（采用焊接見(jiàn)圖?4）形成一個(gè)完整的接地網(wǎng)。連接點(diǎn)采用焊接。
6.1.5?接地極可采用浸銅鋼管，其長(zhǎng)度不少于2500?mm，接地極之間的距離應(yīng)不大于接地極長(zhǎng)度的兩倍（如安裝條件困難，可以用較短的接地極），電極的直徑應(yīng)不小于?20 mm,鍍銅層厚度不小于?0.3 mm,或采用鍍鋅鋼管（直徑為?50 mm、長(zhǎng)度為?2500 mm)或采用鍍鋅角鋼(50 mm×50 mm×5 mm、長(zhǎng)度為?2500 mm)作為接地極。
6.1.6?接地極應(yīng)與防雷接地極裝置保持?20 m?以上距離。
6.1.7?如果為滿足接地電阻要求，需要埋得更深的接地極，應(yīng)使用符合相同技術(shù)要求的、加長(zhǎng)的接地極，對(duì)拼接的電極在接頭處應(yīng)焊接牢靠。
6.1.8?防靜電接地主干線應(yīng)焊接到接地極分系統(tǒng)上，截面積不小于?95 mm2。
6.2 公共連接點(diǎn)聯(lián)接
6.2.1 在防靜電接地極接地系統(tǒng)中，公共連接點(diǎn)引出線與電源配電箱內(nèi)的接地等電位連接，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)接地系統(tǒng)間的電壓差的平衡。其截面積不小于?4 mm2或?qū)挾炔恍∮?14 mm的銅編織帶。具體見(jiàn)圖?5。
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防靜電接地
圖?5??公共連接點(diǎn)聯(lián)接
6.2.2?公共連接點(diǎn)引出的連接接地極分系統(tǒng)的接地主干線，其截面積不應(yīng)小于?95 mm2。
6.2.3?公共連接點(diǎn)引出的連接各公共接地點(diǎn)的接地支線，應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜，其截面積不小于?2.5?mm2。
6.2.4防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間應(yīng)確?？煽窟B接。
6.3?公共接地點(diǎn)要求
6.3.1 EPA 內(nèi)宜設(shè)置一個(gè)或多個(gè)公共接地點(diǎn)，以適應(yīng)就近接地需求。
6.3.2 每個(gè)公共接地點(diǎn)可以連接多個(gè)防靜電設(shè)施設(shè)備。
6.3.3 公共接地點(diǎn)可以是接線條、匯流排或其它方便使用的接線方式。
6.3.4?任意公共接地點(diǎn)間電阻值小于?1Ω。
6.3.5 EPA內(nèi)的接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)標(biāo)識(shí)符號(hào)式樣如圖6所示，其尺寸的大小應(yīng)能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認(rèn)。標(biāo)記顏色應(yīng)采用黃底黑色。接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)應(yīng)用此符號(hào)標(biāo)記。
接地連接點(diǎn)/公共接地點(diǎn)符號(hào)式
6.4 工作臺(tái)等電位聯(lián)接
6.4.1 EPA操作靜電敏感器件的工位，可根據(jù)需要設(shè)置防靜電工作臺(tái)等電位體，見(jiàn)圖7。
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手腕帶
工作臺(tái)面
接地連接點(diǎn)
地墊
圖?7 ?防靜電工作臺(tái)等電位體示意圖
6.4.2 防靜電工作臺(tái)等電位體，連接該工位的防靜電設(shè)施設(shè)備，包括并不限于：手腕帶、工作臺(tái)面、臺(tái)墊、接地工作服等。
6.4.3 防靜電設(shè)施設(shè)備的接地可以是軟接地，也可以直接接地。涉及人身安全的防靜電接地必須采取軟接地。
注：使用的手腕帶和其他導(dǎo)線可能有附加電阻，典型值是1MΩ,作用為限止入地電流，這一點(diǎn)特別重要，因?yàn)樵撨B接導(dǎo)線位于人體與地之間。
6.4.4 每個(gè)防靜電設(shè)施設(shè)備的接地應(yīng)獨(dú)立與公共連接點(diǎn)連接，不得串聯(lián)。
6.4.5?當(dāng)接地對(duì)象為非金屬材料時(shí)，應(yīng)在接地對(duì)象上裝設(shè)緊密結(jié)合的可靠金屬導(dǎo)體，并應(yīng)在金屬導(dǎo)體上引出接地導(dǎo)體。金屬導(dǎo)體的緊密結(jié)合面積不小于?100mm2。
6.5??連接線
6.5.1 公共接地點(diǎn)到防靜電工作站等電位體的連接線的截面積不小于?2.5mm2。
6.5.2 連接線的連接應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等。
7??驗(yàn)證
7.1 ?測(cè)試儀器
測(cè)試接地電阻使用直流電阻計(jì)，電阻計(jì)的量程滿足測(cè)量要求，準(zhǔn)確度應(yīng)在±10%以內(nèi)。
7.2 ?測(cè)量
7.2.1 ?和防靜電設(shè)施設(shè)備接地相連接的公共接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間的連接電阻測(cè)試。用歐姆表測(cè)量選取的和防靜電設(shè)施設(shè)備接地相連接公共接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間電阻，包括所有互連線和固定裝置的電阻?？傠娮璨粦?yīng)大于?25Ω。
7.2.2 ?公共接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間的連接電阻測(cè)試。用歐姆表測(cè)量公共接地點(diǎn)和安全保護(hù)地之間電阻，包括所有互連線和固定裝置的電阻?？傠娮璨粦?yīng)大于?1Ω。
7.2.3 ?接地極分系統(tǒng)大地電阻應(yīng)采用電位降法在干燥土壤表面上、設(shè)施竣工之前進(jìn)行測(cè)量。干燥的表面是指在三天之內(nèi)未下過(guò)雨的土壤表面。建議至少第一年每三個(gè)月和以后為每?12?個(gè)月進(jìn)行一次這樣的測(cè)量并記錄，以觀察接地極分系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
7.2.4 ?防靜電接地極接地系統(tǒng)中，電源配電箱內(nèi)連接安全地的等電位體和防靜電接地極公共接地點(diǎn)的電阻測(cè)試，測(cè)試頻次建議至少每年進(jìn)行一次，測(cè)量并記錄。
7.2.5 ?工作臺(tái)等電位體與安全地接地連接電阻測(cè)試。用歐姆表測(cè)量工作臺(tái)等電位體接地點(diǎn)與安全保護(hù)地之間電阻，包括所有互連線和固定裝置的電阻?？傠娮璨粦?yīng)大于?25Ω。
7.2.6 ?防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間的搭接電阻測(cè)試，用歐姆表測(cè)量公共連接點(diǎn)和接線端之間電阻。電阻不應(yīng)大于?0.1Ω。
8 ??接地安全檢查
EPA?使用前及按規(guī)定的檢查周期內(nèi)，對(duì)?EPA?系統(tǒng)的接地連接線、公共接地點(diǎn)、工作臺(tái)等電位聯(lián)接及防靜電接地與安全地間的連接狀況進(jìn)行嚴(yán)格檢查，確保技術(shù)狀態(tài)良好。
1) 檢查防靜電接地狀態(tài)；
2)?目測(cè)檢查安全接地、儀器設(shè)備保護(hù)地線是否連接可靠；
3) 檢查防靜電設(shè)施設(shè)備、工具是否按要求接地；
4) 監(jiān)督防靜電接地檢查并記錄。