中?華?人 民?共?和?國(guó)?電?子?行?業(yè)?標(biāo)?準(zhǔn)
電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電測(cè)試方法
SJ/T???10694—2022
中 國(guó) 電 子?技?術(shù)?標(biāo)?準(zhǔn)?化?研?究?院??編?制
中 國(guó) 電 子?技?術(shù)?標(biāo)?準(zhǔn)?化?研 究?院??發(fā)?行
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2023年3月第一版2023年3月第一次印刷
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ICS ???????33.100;17.220.20?CCS??L ?06
中?華?人?民?共?和?國(guó)?電?子?行?業(yè)?標(biāo)?準(zhǔn)
SJ/T ?10694—2022?代替 SJ/T?10694-2006
電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電測(cè)試方法
Test method for electrostatic protection of electronic product manufacturing?and application system
2 0 2 2 –?1 0 –?2 0 發(fā)?布 ????????????????????????????2023–01–01實(shí)施
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部???發(fā)布
SJ/ T???10694—2022
目????次
3????術(shù)語(yǔ)、定義和縮略語(yǔ)? ?1
3.2?????縮?略?語(yǔ)? ??ND ??????.. ??INE ?????????????……………………………………………………2
5.3?????產(chǎn)品電阻符合性驗(yàn)證測(cè)試 30
5.6 ????防靜電工作區(qū)物品表面電壓測(cè)試 ?Z.………42
5.9 ????靜電放電屏蔽測(cè)試? ?1.à………46
附?錄A ?(規(guī)范性)?各類防靜電產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo) 48
圖 3??兩?點(diǎn)?式?探?針?電?極?構(gòu)?造?示?意?圖?.?D? ?6
圖 4?兩點(diǎn)式探針電極構(gòu)造細(xì)節(jié)示意圖? ?6
圖?1?3?腕環(huán)內(nèi)表面電阻測(cè)試示意圖 12
圖?1?4?提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝正面測(cè)試點(diǎn)示意圖? 14
圖?1?5?提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝背面測(cè)試點(diǎn)示意圖? 14
圖?1?7?使用測(cè)試夾具測(cè)試提供可接地點(diǎn)的服裝示意圖? 15
前????言
本文件按照GB/T??1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則?第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)?定起草。
本?文?件?代?替?SJ/T???10694—2006《電?子?產(chǎn)?品?制?造?與?應(yīng)?用?系?統(tǒng)?防?靜?電?測(cè)?試?通?用?規(guī)?范?》?,?與?SJ/T ???10694—2006相比，除編輯性修改外主要技術(shù)變化如下：
1)修改了地面的系統(tǒng)電阻的測(cè)試(見5.2.?11和2006年版的6.?1);
請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。
本文件由工業(yè)和信息化部防靜電標(biāo)準(zhǔn)工作組提出。
本文件由中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院歸口。
本文件起草單位：國(guó)家工業(yè)信息安全發(fā)展研究中心、蘇州天華超凈科技股份有限公司、深圳長(zhǎng)城開?發(fā)科技股份有限公司、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國(guó)家靜電防護(hù)產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、深圳市亨達(dá)?洋靜電技術(shù)有限公司、上海陽(yáng)森精細(xì)化工有限公司、浙江金華天開電子材料有限公司、上海佰斯特電子?工程有限公司、山東電盾科技股份有限公司、浙江三威防靜電裝備有限公司、上海碩榮電子科技有限公 司、佳辰地板常州有限公司、蘇州輔朗光學(xué)材料有限公司。
本文件主要起草人：何小龍、孫思宇、王榮剛、張海貝、蔡利花、高志良、劉清松、陳輝、姜干、?朱雪梅、喬栓虎、莊佐華、任光輝、沈明暉、司家林。
本文件于1996年首次發(fā)布，本次為第二次修訂。
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電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電測(cè)試方法
1??范圍
本文件規(guī)定了電子工業(yè)所用防靜電裝備與產(chǎn)品的防靜電性能測(cè)試方法。
本文件適用于電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)中防靜電工作區(qū)內(nèi)的防靜電接地系統(tǒng)、人員接地、工作臺(tái)、
座椅、存放柜、物流車、離子化靜電消除器、工作服，包裝材料及儲(chǔ)存或周轉(zhuǎn)運(yùn)輸包裝等各類靜電防護(hù)
裝備與用品的防靜電檢驗(yàn)與測(cè)試。其它行業(yè)相似產(chǎn)品及應(yīng)用的相關(guān)測(cè)試可參照使用。
本文件規(guī)定的測(cè)試方法不適用于易燃、易爆環(huán)境中防靜電系統(tǒng)、產(chǎn)品檢驗(yàn)。
2??規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款，其中，注日期的引用文件，?僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本支件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本
文件。
GB??12014—2019???防護(hù)服裝防靜電
GB/T ?????31838.2—2019 ????固?體?絕?緣?材?料??介 電?和 電 阻?特?性 ?第?2?部?分 ： 電 阻?特?性(DC ??方 法 ) 體 積 電
阻?和?體?積 電 阻?率?(IEC ???????????????????????6231-31:2346?、ID)
鞍 ?3部?分：?電 阻 特 性(DC ???方 法 ) 表 面 電
GB/T ?????31838.3—2019??固?體?絕?緣?材?料??介 電?和 電 阻?特?性
阻?和?表?面 電 阻?率?(IEC ?????????????????????62631-3-2:2015,IDT)
GB/T ?31838.4—2019 ???固體絕緣材料介電和電阻特性?第4部分：電阻特性(DC??方法)絕緣電?阻 (IEC ????????????62631-3-3:2015,IDT)
GB/T?33375—2016 ??膠粘帶靜電性能的試驗(yàn)方法
FZ/T ???80012-2012 ???潔凈室服裝點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)試方法
IEC????61340-4-7:2017 ????特定應(yīng)用中的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法電離?(Standard??test??methods??for??specific
applications-lonization)
ANSI/ESD ???SP15.1-2011 ??手套、指套在穿戴狀態(tài)下對(duì)靜電放電敏感物品保護(hù)的實(shí)施規(guī)范?(For ?the?Protection of?Electrostatic Discharge?Suseeptible Items In Use Resistance Testing of?Gloves and?Finger?Cots)
3 ?術(shù)語(yǔ)、定義和縮略語(yǔ)
3.1??術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1.1
靜電放電屏蔽??electrostatic?discharge?shield
限制靜電放電引起的耦合電流通過，或衰減、阻隔靜電放電產(chǎn)生的電磁場(chǎng)。?[來源：IEC????????61340-4-8:2014,3.1]
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3.1.2
人體電壓?body voltage
人體由于自行行動(dòng)或與其他帶電物體接觸或接近而在人體上產(chǎn)生并積累靜電，用人體電壓來度量?人體對(duì)地的電位。
[來源：SJ/T??11294—2018,3.5,有修改]?3.1.3
人/鞋/地系統(tǒng)電阻?person/footwear/flooring??system ?resistance
人體電阻、人體所穿的鞋、襪電阻、鞋(腳束)與地面或與接地線之間的電阻之和。
[來源：GB/T???????15463—2018,4.18,有修改]?3.1.4
防靜電工作區(qū)?electrostatic ?discharge ?protected??area
配備各種防靜電裝備(用品)和設(shè)置接地系統(tǒng)(或等電位連接)、能限制靜電電位、具有確定邊界?和專門標(biāo)記的場(chǎng)所。
3.1.5
兩點(diǎn)間電阻?resistance?between?two?point
使用指定配置的兩點(diǎn)式探針電極測(cè)量的電阻。
3.1.6
對(duì)地電阻??resistance?to?ground
物體測(cè)試表面與接地系統(tǒng)接地連接點(diǎn)之間直流電阻。
3.1.7
對(duì)可接地點(diǎn)電阻?resistance to groundable point
物體測(cè)試點(diǎn)表面與該物體可以提供作為接地點(diǎn)使用的接地點(diǎn)之間電阻。
3.1.8
身體接觸點(diǎn)?body ?contact?point
服裝中導(dǎo)電袖帶或代替腕帶或腕帶式接地結(jié)構(gòu)與測(cè)試對(duì)象的手腕接觸的位置。
[來源：ESD???ADV1.0-2017]?3.1.9
點(diǎn)對(duì)可接地點(diǎn)間電阻 ???resistance point to groundable point
放置在一個(gè)帶可接地點(diǎn)服裝表面上的電極與服裝可接地點(diǎn)之間電阻。
[來源：ESD ???ADV1.0-2017]
3.1.10
靜電消散??electrostatic?dissipation
帶電體上的電荷由于靜電中和、靜電泄漏、靜電放電而使電荷部分或全部消失的過程。
3.1.11
符合性驗(yàn)證?compliance (periodic)verification
驗(yàn)證已通過測(cè)試的產(chǎn)品、工程測(cè)試項(xiàng)目的技術(shù)指標(biāo)或有關(guān)要求是否符合現(xiàn)場(chǎng)要求的測(cè)試過程。
建議選擇下列范圍以內(nèi)的溫濕度測(cè)量?jī)x：
3.2??縮略語(yǔ)
下列縮略語(yǔ)適用于本文件。
AC ???????——交流電(Alternating?Current)
BCP ?????——身體接觸點(diǎn)(Body Contact Point)
CPM ?????——充電平板測(cè)試儀(Charged Plate Monitor)
CAFé ??——恒定面積和壓力電極(Constant Area And Force Electrode)
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各類電阻測(cè)試選擇滿足下列要求的電阻測(cè)試儀：
大允許誤差±10%,測(cè)試電壓滿足直流10V與100V。
如選擇人體綜合測(cè)試儀，開路電壓應(yīng)滿足不大于直流9V,??量程應(yīng)滿足5×10?Ω~1×101°Ω2。
4.2.3.2?測(cè)試電極類型
4.2.3.2.1?柱狀電極
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻?、?對(duì)可接地點(diǎn)電阻?、?對(duì)地電阻及服裝的點(diǎn)對(duì)可接地點(diǎn)間電阻測(cè)試所用電極為柱狀電極?，?電極結(jié)構(gòu)如圖1所示。柱電極直徑63.5mm±1.0mm; ????電極材料為不銹鋼或銅，電極接觸端材料導(dǎo)電?橡膠，邵氏A 硬度60HA±10HA, ???厚度3.0mm±0.3mm, ????體積電阻小于1×103Ω;電極單重2.5kg ?±0.25kg。
體積電阻使用的底部電極應(yīng)為一個(gè)不銹鋼、耐腐蝕的(非鋁)金屬板，并且足夠大以支撐樣品，并?應(yīng)裝配一個(gè)永久性連接端子(如插孔、鉚接的端子),不建議使用鱷魚夾。
單位為亳米
測(cè)試電纜
總質(zhì)量(2.5±0.25kg)
絕緣線(>1×10″Q)
絕緣層(>1×102)?金屬電極安裝底座
導(dǎo)電型電極
邵氏A硬度50HA～70HA
63.5±1.0
圖1?柱狀電極示意圖
4.2.3.2.2?同心環(huán)電極
該電極用于表面電阻及體積電阻測(cè)試，電極結(jié)構(gòu)如圖2所示。電極參數(shù)的導(dǎo)電橡膠邵氏硬度為?60??HA±10HA、厚度3.0mm±0.3mm, ??體積電阻小于1×103QΩ;?重量2.5kg±0.25kg; 內(nèi)柱狀電極?直徑φ30.5mm±1.0mm?、 環(huán)狀電極內(nèi)徑φ57.0mm±1.0mm?、 環(huán)狀寬度3.0mm±0.5??mm。
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單位為毫米
測(cè)試電纜
總質(zhì)量(2.5kg±0.25kg)
絕緣線(>1×10°2)
絕緣層(>1×10)
金屬電極安裝底座
導(dǎo)電型電極邵氏A硬度50HA~70HA;3mm典型厚
3.0±0
圖2同心環(huán)電極示意圖
4.2.3.2.3兩點(diǎn)式探針電極
該電極零件布置及制造構(gòu)造見圖3-圖4,電極的材料見表1,可以使用等效部件。
表1兩點(diǎn)式探針電極材料參數(shù)表
材料項(xiàng)目 ????????????????????????物理指標(biāo)??????????????????????????????????示?例
聚四氟乙烯絕緣體 ?長(zhǎng)度約25.4 mm直徑約12.7 mm ????????????????????????????一
電極護(hù)罩??????金屬管長(zhǎng)約318mm直徑4.75mm?????????????????????????一
電極絕緣體 ????熱收縮聚四氟乙烯絕緣體或其他絕緣體 ?????????????????????????????一
銷?孔 ???????插座-帶焊罩 ????????????????????????????互連設(shè)備公司R-5-SC
銷?體 ????????彈簧銷力為：(43±0.1mm行程，4.6±0.5N。尖端工???互連件公司S-5-F-16.4-G?作卡住電極
電 極 ???????邵氏A?50?HA~70?HA????????????????????????????????????????????一
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單位為毫米
圖3 ?兩點(diǎn)式探針電極構(gòu)造示意圖
圖 4??兩?點(diǎn) 式?探?針 電?極?構(gòu)?造?細(xì) 節(jié)?示?意?圖
4.2.3.2.4?手持電極
直徑25 mm, ?長(zhǎng)度75mm?或更長(zhǎng)的不銹鋼、黃銅或鍍銅圓形或管形把手，香蕉插接頭或旋鈕螺絲?連接到圓柱一端。
4.2.3.2.5 ?鱷魚夾平板電極
電極材料應(yīng)選用不銹鋼或銅片或其它金屬，制作成邊長(zhǎng)25 mm?的正方形片狀電極，金屬片厚度大?于0?.5mm,???牢固焊接在鱷魚夾上，見圖5。
圖6?條形電極結(jié)構(gòu)連線示意圖
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4.2.3.2.7?恒定面積的壓力電極
恒定面積的壓力電極示意圖如圖7所示，結(jié)構(gòu)詳見ANSIESD?????SP15.1-2011中圖1。
硬螺母?????????????橫桿
電極
六角螺母
螺紋桿
負(fù)重
圖7?恒定面積的壓力電極示意圖
4.2.4?其他測(cè)試儀器
4.2.4.1 ?接地電阻測(cè)試儀
接地電阻范圍0.1Ω~1000Ω,最大允許誤差±3%;測(cè)試線，接地探針均應(yīng)使用儀器自帶的配套?配件。對(duì)地電壓0.1V～200?V(50?Hz～60Hz), 最大允許誤差±1%。
如采用交流阻抗儀則范圍應(yīng)滿足：阻抗0.1Ω~100Ω,電壓0.1V~600V(頻率40/75Hz),???電?流?0.1A～120A,?最大允許誤差±1%。
4.2.4.2?帶電量測(cè)試裝置
帶電量測(cè)試裝置由法拉第筒和數(shù)字電量測(cè)試儀組成：
4.2.4.3?充電平板測(cè)試儀
CPM 包含一個(gè)可收集離子的標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)體平板，充電平板電壓范圍±(1～1100)V,MKIⅡ??電壓表模式?下電壓±(1～2000)V, ?靜電場(chǎng)強(qiáng)±(1～200)kV/m。導(dǎo)體平板尺寸150mm×150mm, ???接地面尺寸?大于150mm×150mm, ??極板對(duì)地電阻大于1×10??QΩ,平板對(duì)地電容20?pF。組裝示意圖見圖8,充電?平?板?平?面 圖 見 圖?9?。
8
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數(shù)字萬(wàn)用表選擇各量程檔應(yīng)滿足：
4.2.4.8?手持烙鐵漏電壓與漏電流測(cè)試的金屬板
在單面或雙面覆銅板(銅含量?一?般在57g) ??或?全?銅?板 (?厚?度?1?.?6mm) ???上用錫涂覆?一?小塊面積，用?于手持烙鐵頭做接觸。為保證測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，金屬板上的導(dǎo)線應(yīng)盡可能短。測(cè)試金屬板平面示意圖?見?圖?1?1?。
10
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| 測(cè)試項(xiàng)目 | 測(cè)試點(diǎn)位 | 服裝 | 提供可接地?點(diǎn)的服裝 | 提供腕帶及接地?系統(tǒng)的服裝 | |
|
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻 |
左袖對(duì)左前襟(LS~LFP) | ● | ● | ● | |
| 左袖對(duì)右前襟(LS~RFP) | ● | ● | ● | ||
| 左軸對(duì)左后襟(LS~LBPI | ● | ● | ● | ||
| 左袖對(duì)言后襟(LS~RBP) | ● | ||||
| 左袖對(duì)右柚(LS~RS) | ● | ● | |||
| 兩身體接觸點(diǎn)之間(BCP~BCP) | O | ● | |||
|
點(diǎn)對(duì)可接地點(diǎn)間電阻 |
左前襟對(duì)可接地點(diǎn)(LFP~Gp) | 一 | ● | ● | |
| 右前檬對(duì)可接地點(diǎn)RFP～Gp) | ● | ● | |||
| 東后對(duì)可接地點(diǎn)(LBP~Gp) | ● | ||||
| 右后襟對(duì)可接地點(diǎn)(RBP~Gp) | ● | ||||
| 左袖對(duì)可接地點(diǎn)(LS~Gp) | ● | ● | |||
| 右抽好可接地點(diǎn)RS~Gp) | ● | ||||
| 身體捷觸點(diǎn)對(duì)可接地點(diǎn)(BCP-GpI | ● | ||||
| 服裝意壩 | 身休接觸點(diǎn)對(duì)可接地xBCP~Cp) | ● | |||
| 穿著狀態(tài)下系績(jī)中阻(人體穿斷面~Gp | ● | ||||
| 注1:LS左準(zhǔn)：RS右袖；LFP左首德：REP右前惚：LBP左后襟：RBP右后襟；BCP身體接觸點(diǎn)；Gp服裝可接
地點(diǎn)+Gitp服裝接地終止點(diǎn)；人體穿巖面為穿著狀態(tài)下接觸部分：BCP~Gp區(qū)分左右側(cè)。 注2:●表示選擇；O表示建議選擇；一表示不要求。服裝各測(cè)試點(diǎn)示意圖詳見圖14及圖15. |
|||||
絕緣支架
2
120mm
10mm
100mm
標(biāo)引序號(hào)說明?：
1——固定式金屬圓筒測(cè)試探頭(直徑25mm);
2?—?—?可移動(dòng)金屬圓筒測(cè)試砝碼(直徑25mm,?質(zhì)?量?為?0?.?1?1kg)。
圖13??腕環(huán)內(nèi)表面電阻測(cè)試示意圖
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BCP???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????BCP
圖14?提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝正面測(cè)試點(diǎn)示意圖
圖15??提供腕帶線及接地系統(tǒng)的服裝背面測(cè)試點(diǎn)示意圖
5.2.2.2?服裝點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試
將服裝平鋪測(cè)試臺(tái)表面，用測(cè)試線將電極和電阻測(cè)試儀連接好，并將電極分別放置于服裝的兩個(gè)袖?子上；電極擺放位置處，服裝上層面料與下層面料之間加墊絕緣片，絕緣墊的表面電阻要求阻值大于?1×1012Ω。測(cè)試服裝兩個(gè)衣袖外表面的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻?(BCP～BCP),?????測(cè)試示意圖見圖16。
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電阻測(cè)試儀
9?????Q
柱狀電極
AND?INFO????????????????????????絕緣墊
服裝??????????????TYPJ
絕緣支撐板
圖16?服裝點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻(BCP~BCP)測(cè)試示意圖
5.2.2.3?提供接地點(diǎn)的服裝對(duì)可接地點(diǎn)電阻測(cè)試
將服裝袖曲套在腕帶測(cè)試夾具裝置上，使用電阻測(cè)試儀，一端連接測(cè)試夾臭裝置；另一端連接服裝?可接地點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試示意圖見圖17
Q
圖17?使用測(cè)試夾具測(cè)試提供可接地點(diǎn)的服裝示意圖
14???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????15
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5.2.2.4??連體服電阻測(cè)試
連體服按FZ/T ?80012—2012 中7.2要求測(cè)試。
5.2.3??鞋底電阻測(cè)試
測(cè)試鞋子的鞋底電阻所使用的絕緣支撐板除滿足5.1.1要求外，絕緣電阻測(cè)試值應(yīng)大于1×1013Ω,?按?GB/T?31838.4—2019中的試驗(yàn)方法5測(cè)試。
用于測(cè)試的最少數(shù)量應(yīng)為1雙。施加在鞋上的電極負(fù)荷為(10±0.5)kg??？赏ㄟ^使用足夠柔軟的?絕緣袋子或尼龍襪并填充(10±0.5)kg?金屬珠(φ≤3mm) ?作為電極荷載，絕緣袋子或尼龍襪應(yīng)與鞋?底完全貼合。在鞋體(或鞋墊)的內(nèi)側(cè)上安裝導(dǎo)電電極，可以選擇鋁箔或銅箔電極，長(zhǎng)度不小于400 mm,????寬度不小于20mm。?并選擇比鞋類更大的不銹鋼板作為鞋外底部電極(尺寸不小于150mm×300mm)。
電極與鞋外底的接觸電阻小于500Ω,將鞋放在不銹鋼底部電極上，測(cè)試示意圖見圖18。
將鞋底的內(nèi)表面的導(dǎo)電電極連接到電阻測(cè)試儀器上，測(cè)試儀器另一根導(dǎo)線連接到底部電極，內(nèi)電極?放置方式見圖19。對(duì)鞋施加上述規(guī)定的電極荷載后，使用電阻測(cè)試儀按照5.1.2要求測(cè)試鞋底電阻。
注：襪充滿金屬珠，多余部分放置在外面。
圖18?鞋底電阻測(cè)試示意圖
圖20 ?鞋束點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試示意圖
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5.2.5??手套、指套兩點(diǎn)間電阻測(cè)試
按照5.2.18中的要求使用兩點(diǎn)式探針電極，測(cè)試手套、指套外兩點(diǎn)間電阻。
圖24 ?工作臺(tái)臺(tái)面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻(橫向)測(cè)試示意圖
圖?2?2??地?面?覆?蓋?物?樣?塊?的?點(diǎn)?對(duì)?點(diǎn)?電?阻?測(cè)?試?示?意?圖
18
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電阻測(cè)試儀
柱狀電極
50m
50mm
臺(tái)面
圖25 ?工作臺(tái)臺(tái)面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻(對(duì)角線)測(cè)試示意圖
圖26 ?工作臺(tái)臺(tái)面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻(豎向)測(cè)試示意圖
20
電阻測(cè)試儀
臺(tái)?面
柱狀電極
50mm
圖27”工作臺(tái)臺(tái)面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻(對(duì)角線)》測(cè)試示意圖
當(dāng)工作臺(tái)進(jìn)行可接地點(diǎn)電阻的測(cè)試時(shí)，按照?qǐng)D28測(cè)試五個(gè)位置，五個(gè)測(cè)試位置分別位于工作臺(tái)表?面的四角和瓜何中心，電極邊緣距離接地點(diǎn)和工作臺(tái)表面邊緣符合以下規(guī)定：可接地點(diǎn)到電極邊緣應(yīng)大?于100mm,電極邊緣距工作臺(tái)面的邊緣大手100mm;??對(duì)圖28中測(cè)量位置2至5依次測(cè)量；對(duì)五個(gè)位?置的測(cè)試數(shù)據(jù)取算數(shù)平均值作為測(cè)量結(jié)果；
如果被測(cè)工作臺(tái)有多個(gè)可接地點(diǎn)，則對(duì)所有可接地點(diǎn)的應(yīng)依次連接，按照前面步驟依次測(cè)量，并分?別記錄每個(gè)回接地點(diǎn)的測(cè)量結(jié)果。
電阻測(cè)試儀
可?接?地?點(diǎn)
圖28 ?工作臺(tái)臺(tái)面對(duì)可接地點(diǎn)電阻測(cè)試示意圖
5.2.9 ?存放架電阻測(cè)試
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻按照?qǐng)D29的標(biāo)注位置擺放電極，按照5.1.2進(jìn)行測(cè)試。
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電阻測(cè)試儀
2
3
圖29??存放架臺(tái)面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試示意圖
帶接地點(diǎn)的存放架的對(duì)可接地點(diǎn)電阻按照?qǐng)D30的標(biāo)注位置測(cè)試，不帶接地點(diǎn)的存放架的對(duì)可接地?點(diǎn)電阻按照?qǐng)D31標(biāo)注位置測(cè)試。
圖30 ?存放架臺(tái)面對(duì)可接地點(diǎn)電阻測(cè)試(帶接地點(diǎn))示意圖
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圖31?存放架臺(tái)面對(duì)可接地點(diǎn)電阻測(cè)試(不帶接地點(diǎn))示意圖
5.2.10??座椅、運(yùn)轉(zhuǎn)車電阻測(cè)試
座椅的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻按5.1.2要求測(cè)試，見圖32,對(duì)可接地點(diǎn)電阻測(cè)試測(cè)試時(shí)，腳輪下放置一塊??200 ??mm×200mm?金屬支撐板并良好接觸。一個(gè)電極與金屬支撐板接觸，另一個(gè)電極與椅面良好接觸，?分別測(cè)試椅面、椅背任一點(diǎn)的對(duì)地電阻值，應(yīng)至少測(cè)試2個(gè)腳輪，見圖33。
圖32?座椅點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試示意圖
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圖34?運(yùn)轉(zhuǎn)車臺(tái)面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試示意圖
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圖35?運(yùn)轉(zhuǎn)車臺(tái)面對(duì)可接地點(diǎn)電阻測(cè)試示意圖
5.2.11?地面電阻測(cè)試
現(xiàn)場(chǎng)工程地面的對(duì)地電阻測(cè)試按照5.1.2要求，連線可以選擇就近?EBP, ?將柱狀電極放置于地面?表面并測(cè)試，見圖36,不宜選取距離地面周邊墻體、地面邊緣或接地金屬體不足1m 的測(cè)點(diǎn)。
測(cè)試選點(diǎn)以網(wǎng)格劃分，陣列方式選取，相鄰兩點(diǎn)間隔大于100 mm。
對(duì)面積不大于10m2的房間，選擇3個(gè)測(cè)點(diǎn)，對(duì)面積不大于20m2的房間，總測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于6個(gè)，?測(cè)?點(diǎn)?分?布?應(yīng)?均?勻?。
對(duì)面積大于20m2~800m2的房間，每5m2~10m2 選取一個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于6個(gè)。
當(dāng)面積在800m2~1200m2,??每10m2~12m2?選取一個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于80到100個(gè)。
當(dāng)面積在1200m2?以上，每10m2~12m2 選取一個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于120個(gè)，不多于200個(gè)。
如果是活動(dòng)地板的工程地面，測(cè)點(diǎn)應(yīng)距離邊緣100 mm 以上，并盡量選擇跨接縫的測(cè)點(diǎn)；測(cè)試點(diǎn)對(duì)?點(diǎn) 電 阻?項(xiàng)?目?。
當(dāng)一個(gè)測(cè)試空間由多部分空間組成，應(yīng)考慮各分隔空間的溫濕度差異可能對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，需在?測(cè)?試?相?關(guān)?記?錄 中?予 以?體?現(xiàn)?。
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EBP
電阻測(cè)試儀
地面
0
柱狀電極
ND?????????INOR
RMAT
圖36?地面對(duì)地電阻測(cè)試示意圖
5.2.12 ?墻面電阻測(cè)試
墻面的對(duì)地電阻見圖37所示連線并擺放電極按照5.2.11選取測(cè)試點(diǎn)并測(cè)試
墻面
電阻測(cè)試
EBP
吉
圖37 ?墻面對(duì)地電阻測(cè)試示意圖
5.2.13?手持工具電阻測(cè)試
鑷子、工具鉗、毛刷等手持工具與電子產(chǎn)品接觸表面對(duì)手持端之間的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻參照5.1.2要求測(cè)?試，用兩個(gè)鱷魚夾平板電極連接工具接觸ESD 敏感設(shè)備的點(diǎn)與操作者的手接觸的點(diǎn)，測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻，?見圖38。
測(cè)試毛刷的電阻時(shí)應(yīng)測(cè)試毛刷面至毛刷柄兩端間電阻。
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圖38?工具鉗的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試
5.2.14??手持烙鐵電阻測(cè)試
將萬(wàn)用表的一端表筆接到手持烙鐵頭插頭的接地端，另一端表筆連接至手持烙鐵的工具頭部分，打?開萬(wàn)用表電阻檔測(cè)試出結(jié)果，見圖39。
圖39?烙鐵頭對(duì)地電阻測(cè)試示意圖
5.2.15??防靜電蠟、劑電阻測(cè)試
將蠟、劑均勻涂敷在絕緣的基材上待干燥后測(cè)試蠟、劑的表面電阻，按5.1.2要求測(cè)試。
5.2.16??臺(tái)墊電阻測(cè)試
當(dāng)測(cè)試表面電阻時(shí)，將臺(tái)墊放置于絕緣支撐板上，面朝上；將同心環(huán)電極放置于臺(tái)墊表面，距離試?樣邊緣至少10mm,??按照5.1.2要求測(cè)試。
當(dāng)測(cè)試體積電阻時(shí)，底部電極放置于絕緣支撐板上；將臺(tái)墊放置于不小于試樣面積大小的底部電極?上，面朝上；將同心環(huán)電極放置在臺(tái)墊上表面，底部電極放置在臺(tái)墊下表面與同心環(huán)電極成同一軸向。?并按照5.1.2要求測(cè)試。
5.2.17??人/鞋/地系統(tǒng)電阻測(cè)試
該測(cè)試按照?qǐng)D40連接好測(cè)試儀器，將電阻測(cè)量?jī)x的一端引線連接到EBP?。把另一端引線連接到手?持電極。測(cè)試人員穿著防靜電服裝及防靜電鞋10 min?后站立地板上，牢固握住手持電極。測(cè)試電壓按?照5.1.2要求執(zhí)行。僅用左腳接觸地板覆蓋層，右腳抬起在高于地板覆蓋層約150mm 處，根據(jù)測(cè)試結(jié) 果記錄電阻值；僅用右腳接觸地板覆蓋層，左腳抬起在高于地板覆蓋層約150mm?處，根據(jù)測(cè)試結(jié)果記
注：測(cè)試時(shí)單腳落地。
圖40??人/鞋/地系統(tǒng)電阻測(cè)試示意圖
5.2.18??各類防靜電包裝電阻測(cè)試
袋狀包裝形狀應(yīng)為片狀、表面平坦的材料，樣品尺寸不小于100 mm×120 ???mm, ?或直徑不小于?110 ?mm。細(xì)小尺寸包裝試樣表面單向尺寸應(yīng)大于20 mm。
不同類型的防靜電包裝測(cè)試項(xiàng)目如表3所示。
表3?各類防靜電包裝測(cè)試項(xiàng)目表
| 產(chǎn)品類型 | 測(cè)試項(xiàng)目 | 圖示 |
| 包裝袋 | 表面電阻：包裝內(nèi)層、外層
體積電阻：包裝內(nèi)層對(duì)底部電極間 |
圖41 |
| 包裝盒 | 表面電阻：盒內(nèi)表面、盒外表面
體積電阻：盒內(nèi)表面對(duì)底部電極間 |
圖42 |
| 泡棉 | 表面電阻：頂表面、底表面
體積電阻：頂表面對(duì)底部電極問 |
一 |
| 載帶包裝 | 兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔、腔對(duì)腔
體積電阻：腔對(duì)底部電極間 |
一 |
| 熱成型和注塑托盤 | 兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔、腔對(duì)腔
體積電阻：腔對(duì)底部電極間 |
圖43 |
| 瓦楞紙板 | 表面屯阻：包裝內(nèi)層、外層
體積電阻：包裝內(nèi)層對(duì)底部電極間 |
一 |
表面電阻、體積電阻按5.2.16中的方法測(cè)試，見圖41～圖42。
兩點(diǎn)間電阻：測(cè)試電極接觸物表面，并向試樣方向下壓至電極伸縮彈簧至一半行程。電阻測(cè)試的步?驟按照5.1要求執(zhí)行，見圖43。
圖41?包裝袋表面電阻測(cè)試示意圖
圖42?包裝盒體積電阻測(cè)試示意圖
兩點(diǎn)式探針電極
92
熱成型和注塑托盤
絕緣支撐板
圖?4?3?熱成型和注塑托盤兩點(diǎn)間電阻測(cè)試示意圖
5.3?產(chǎn)品電阻符合性驗(yàn)證測(cè)試
5.3.1 ?腕帶穿戴狀態(tài)系統(tǒng)電阻測(cè)試
人員將手腕帶按正常穿戴狀態(tài)下佩戴好，保持腕帶和皮膚接觸良好；腕帶的插頭端和手持電極端分?別和電阻測(cè)試儀連接好，讀取電阻值，見圖44。
手持電極
重獄儀
連接線
圖44 ?腕帶穿戴狀態(tài)系統(tǒng)電阻的測(cè)試示意圖
5.3.2?腕帶插孔對(duì)地電阻
使用萬(wàn)用表測(cè)試腕帶插孔對(duì)EBP 之間電阻，連接方法見圖45。測(cè)試位置距離EBP?較遠(yuǎn)時(shí)，可以使?用輔助測(cè)試線?，?測(cè)試值減去輔助測(cè)試線的電阻值即為腕帶插孔對(duì)地電阻?。
防靜電工作臺(tái)
EBP
萬(wàn)用表
9
注：防靜電工作臺(tái)腕帶插孔連接EBP。
圖45??腕帶插孔對(duì)接地點(diǎn)電阻測(cè)試示意圖
5.3.3?等電位連接電阻測(cè)試
當(dāng)?EPA???內(nèi)其它防靜電裝備(如貨架、座椅、推車、地坪、傳輸帶等)均采用等電位連接方式連接時(shí)，?使用電阻測(cè)試儀測(cè)試防靜電裝備和設(shè)備保護(hù)接地極之間等電位連接電阻?。
工作臺(tái)的防靜電接地與設(shè)備保護(hù)接地共用一個(gè)接地樁時(shí)，見圖46所示連線并測(cè)試。
注：設(shè)備保護(hù)插座連接的安全保護(hù)接地與防靜電接地共用接地極。
圖?4?6??工?作?臺(tái)?等?電?位?連?接?電?阻?測(cè)?試?示?意?圖
31
5.3.4 ?帶可接地點(diǎn)服裝電阻測(cè)試
在測(cè)試前，測(cè)試人員應(yīng)將服裝至少穿戴10min, ?將接地線和穿戴者的電阻作為系統(tǒng)總電阻的一部分?進(jìn)行測(cè)試，可以使用專有集成測(cè)試儀或電阻測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試。使用接地線將衣服的接地點(diǎn)連接到測(cè)試儀，?通過集成測(cè)試儀上的按鈕或手持式電極與測(cè)試儀接觸，施加測(cè)試電壓并記錄結(jié)果。測(cè)試示意圖見圖47。
手持電極
可接地點(diǎn)
圖47?使用手持電極測(cè)試對(duì)可接地點(diǎn)電阻示意圖
5.3.5?人/鞋系統(tǒng)電阻測(cè)試
測(cè)試人員穿好防靜電鞋(鞋子和襪體、腳面皮膚接觸良好),鞋底和金屬支撐板接觸良好，并與地?面絕緣；手持電極和金屬支撐板分別和電阻測(cè)試儀測(cè)試端連接好；人手持電極，單腳踩在金屬支撐板上，?打開電阻測(cè)試儀開關(guān)，測(cè)試電壓按照5.1.2執(zhí)行，并讀取人/鞋系統(tǒng)電阻值；測(cè)試示意圖見圖48,重復(fù)?上述步驟測(cè)試另外一只腳的人/鞋系統(tǒng)電阻值要求。
當(dāng)選擇鞋束用于靜電防護(hù)時(shí)，使用鞋束裝配參照上述方法可測(cè)試人鞋束系統(tǒng)電阻值。
圖48??人/鞋系統(tǒng)電阻測(cè)試示意圖
當(dāng)采用人體綜合測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試人員應(yīng)單腳站在導(dǎo)電的鞋電極上，手應(yīng)壓在試驗(yàn)裝置的測(cè)試?電極上，測(cè)試示意圖見圖49。
圖49?采用人體綜合測(cè)試儀進(jìn)行人/鞋系統(tǒng)電阻測(cè)試示意圖
5.3.6??手持工具與電子產(chǎn)品接觸面對(duì)地電阻測(cè)試
使用鉗子或鑷子手持工具進(jìn)行操作時(shí)，應(yīng)通過防靜電工作臺(tái)面或使用工具的人員實(shí)現(xiàn)接地，測(cè)試工?具與ESDS?電子產(chǎn)品接觸面的對(duì)地電阻。
33
5.3.7??包裝電阻符合性驗(yàn)證測(cè)試
包裝電阻符合性驗(yàn)證測(cè)試項(xiàng)目見表4。
表4?各類防靜電包裝符合性驗(yàn)證測(cè)試項(xiàng)目表
| 產(chǎn)品類型 | 測(cè)試項(xiàng)目 |
| 包裝袋 | 表面電阻：包裝內(nèi)表面層、外表面層 |
| 包裝盒 | 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：盒內(nèi)表面、盒外表面 |
| 泡棉 | 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：頂表面、底表面 |
| 載帶包裝 | 兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔 |
| 熱成型和注塑托盤 | 兩點(diǎn)間電阻：內(nèi)腔 |
| 瓦楞紙板 | 包裝內(nèi)表面層、外表面層 |
5.3.8?傳輸帶對(duì)地電阻測(cè)試
傳輸帶的對(duì)地電阻測(cè)試按5.1.2要求測(cè)試，見圖50。
電阻測(cè)試儀
柱狀電極??????????????????99
=9
EBP
圖50?傳輸帶對(duì)地電阻測(cè)試示意圖
5.3.9??手持烙鐵對(duì)地電阻測(cè)試
烙鐵通電工作狀態(tài)下，使用萬(wàn)用表一支表筆端接到烙鐵插頭接入的插座孔(地線端),另一支表筆?端連接至烙鐵的工具頭部分，打開萬(wàn)用表電阻檔測(cè)試出結(jié)果。
5.3.10??防靜電接地電阻測(cè)試
采用電位降法測(cè)量防靜電接地電阻的依據(jù)是歐姆定律，測(cè)試值為交流阻抗值。首先測(cè)量接地樁對(duì)地?電壓，確定是否有對(duì)地電壓存在，對(duì)地電壓會(huì)導(dǎo)致接地電阻測(cè)量有較大誤差，如有干擾，則要關(guān)閉接地?設(shè)備電源后，再進(jìn)行測(cè)試。在測(cè)試中，接地釬選擇的位置應(yīng)避免大地土壤過于干燥或潮濕，影響測(cè)試結(jié)?果。測(cè)試連接線避免交叉纏繞，應(yīng)平鋪，在測(cè)量同時(shí)，輔助電極要回避工業(yè)回填土質(zhì)、垃圾、沙地、埋?有地?zé)峁艿赖耐恋氐?，?以免影響測(cè)試?。
接地電阻包括接地樁和接地連線兩部分。使用接地電阻測(cè)試儀測(cè)試，將儀器自帶的測(cè)試線連接“E”?和“P”、“C”?插孔端；然后將“E”端測(cè)試線連接接地樁引出點(diǎn)，將“P”、“C”端測(cè)試線分別連?接到兩個(gè)輔助電極上，兩個(gè)輔助電極按照儀器規(guī)定的測(cè)試距離插入地面，深度應(yīng)保證輔助電極整體沒入?地面。按儀器說明書要求操作儀器，測(cè)出接地樁電阻，見圖51。測(cè)量接地連線時(shí)，可使用數(shù)字萬(wàn)用表測(cè)?試，可以按照5.3.2中的方法，測(cè)出?“EBP”?點(diǎn)與ESDS?防護(hù)設(shè)施接地點(diǎn)間連線的阻值R?。根據(jù)公式(1)?計(jì)算出防靜電接地電阻值R。
R=Ro+R??…?…?…????????????…?????????…… ???????????????????????????????…(1)
式?中?：
R ????——防靜電接地電阻，單位為歐姆(Ω);
Ro?——接地樁對(duì)地電阻，單位為歐姆(Ω);
R?——ESDS?????防護(hù)設(shè)施接地連線電阻，單位為歐姆(Ω)。
E
七
防靜電接地樁
a
說明：
C?????——連電流探棒；
P???——連電位探棒；
E???——連接地極探棒。
a???——位置和距離按說明書放置。
圖51??防靜電接地樁接地電阻測(cè)試示意圖
5.4?手持烙鐵漏電壓、漏電流測(cè)試
5.4.1?交流漏電壓測(cè)試
手持烙鐵漏電壓按下列步驟測(cè)試：
35
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L??????——火 線?；
SW——開關(guān)。
圖53?手持烙鐵漏電流測(cè)試示意圖
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說明?：
PE ——地線
N??——零線
L???——?火線
SW——開關(guān)
插頭端連接設(shè)備保護(hù)插座；插座端連接帶負(fù)載焊接工具的插頭
圖54??漏電流測(cè)試裝置連接示意圖
5.5??離子化靜電消除器的測(cè)試
5.5.1??測(cè)試基本要求
消散時(shí)間測(cè)試時(shí)，測(cè)試儀器的導(dǎo)電板應(yīng)充電至初始測(cè)試電壓，并使其衰減至初始測(cè)試電壓的10%。?對(duì)于初始充電的正負(fù)兩個(gè)極性，都應(yīng)監(jiān)控并記錄所需的時(shí)間。
在殘余電壓測(cè)試時(shí)，導(dǎo)電板應(yīng)立即接地，以消除任何殘留電荷，并確認(rèn)測(cè)試儀器裝置電壓監(jiān)控為零。?然后按照下面各圖所述的步驟測(cè)試。
如果選擇不同類別的電離器，則所有測(cè)試均應(yīng)使用相同的測(cè)試電壓，即±1000V。
各類離子化靜電消除器測(cè)試放置時(shí)應(yīng)根據(jù)示意選擇適宜的平面或平臺(tái)。
如另有要求，離子化靜電消除器的殘余電壓絕對(duì)值技術(shù)指標(biāo)可以參照客戶委托。
5.5.2??測(cè)試環(huán)境
測(cè)試區(qū)域內(nèi)沒有大面積接地導(dǎo)體，測(cè)試區(qū)域的環(huán)境不得有擾動(dòng)氣流和高壓電源。
5.5.3??測(cè)試位置和測(cè)量時(shí)間
應(yīng)按照測(cè)試位置表5和相應(yīng)位置示意圖中規(guī)定的每個(gè)測(cè)試位置/點(diǎn)?(TP), ?????測(cè)量消散時(shí)間和殘余電?壓。消散時(shí)間和殘余電壓應(yīng)在相同條件下測(cè)量，兩個(gè)參數(shù)測(cè)試期間不應(yīng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行任何調(diào)整，每次測(cè)量?應(yīng)?保?證?一?定 時(shí) 間 的 間?隔?。
37
表5??測(cè)試設(shè)置和測(cè)試位置/點(diǎn)
| 設(shè)備類別 | 應(yīng)用形式類別 | 測(cè)試位置的數(shù)量 | 測(cè)試位置參考圖 |
| 臺(tái)式 | 臺(tái)面離子化系統(tǒng) | 12 | 圖 5 5 |
| 高架 | 12 | 圖56、圖57 | |
| 槍和噴嘴 | 離子槍 | 1 | 圖58 |
| 電離輻射電離 | 按儀器使用說明 | 一 | |
| 交流格柵 |
全室離子化系統(tǒng) |
2 | 圖59 |
| 離子棒(脈沖和直流) | 2 | 圖59 | |
| 單極性離子發(fā)射器 | 3 | 圖60 | |
| 穩(wěn)態(tài)直流線路 | 圖61 | ||
| 脈沖交流發(fā)射器 | 圖62 | ||
| 垂直 | 單向流工作臺(tái)離子化系統(tǒng) | 圖63 | |
| 水平 | 圖64 |
圖55 ?臺(tái)式離子化靜電消除器的測(cè)試位置——俯視圖
應(yīng)定向測(cè)量TP5?和?TP8?測(cè)試位置的氣流。
注：高架離子發(fā)生器在測(cè)試區(qū)域中心。
圖56??頂置電離器的測(cè)試位置——俯視圖
圖57?頂置電離器的測(cè)試位置——側(cè)視圖
當(dāng)使用壓縮氣體的電離器(槍和噴嘴)時(shí)，氣體輸入壓力除非另有規(guī)定，否則建議為200 kPa,?測(cè)??試距離為15cm。?也可根據(jù)用戶實(shí)際使用的氣體輸入壓力和距離進(jìn)行測(cè)試。壓縮氣體的電離器的殘余電?壓應(yīng)在至少10s?內(nèi)測(cè)量，保持讀數(shù)穩(wěn)定。最大值不得超過1min。
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交流格柵(陰影區(qū)域，覆蓋率小于100%)和脈沖或穩(wěn)態(tài)直流條的示例?TP1 直接位于柵格或條形下，而TP2?位于柵格或條形中心
圖?5?9??室?內(nèi)?電?離?系?統(tǒng)?的?測(cè)?試?位?置?—?—?交?流?電?網(wǎng)?和?直?流?條?系?統(tǒng)
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TP3
TP2
圖60?室內(nèi)電離系統(tǒng)的測(cè)試位置——單極性發(fā)射器系統(tǒng)
發(fā)射器
TP2
一
圖61?室內(nèi)電離系統(tǒng)的測(cè)試位置——穩(wěn)態(tài)直流線路系統(tǒng)
發(fā)射器
TP1/
m2
圖62?室內(nèi)電離系統(tǒng)的測(cè)試位置——脈沖交流發(fā)射器系統(tǒng)
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15cm???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????15cm
后面
TP6
TP3
充電板
TP1
前頂端
測(cè)試點(diǎn)中心線
圖63 ?垂直層流罩的測(cè)試位置——俯視圖
應(yīng)測(cè)量1p4.0?試位置的風(fēng)速。
高速過濾器
高子發(fā)生
15cnl
氣流方向
TP3
充電板
TP1
測(cè)試點(diǎn)中心線?????????????????????前頂端
注：離子發(fā)生器形式是網(wǎng)格或條。
圖64??水平層流罩的測(cè)試位置——俯視圖
5.6??防靜電工作區(qū)物品表面電壓測(cè)試
測(cè)量非導(dǎo)體表面電壓通常使用非接觸式靜電電壓測(cè)試儀，為防止周圍環(huán)境中其它電磁場(chǎng)干擾測(cè)試?結(jié)果，應(yīng)將測(cè)試儀外殼接地屏蔽。非接觸式電壓測(cè)量?jī)x器在使用時(shí)，對(duì)被距物有特定的測(cè)試距離要求。?測(cè)試人員根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目和儀器說明書選擇合適的距離和電壓檔位進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試示意圖參見圖65。
防靜電接料膠帶、防靜電耐高溫膠帶的表面靜電壓和剝離電壓的測(cè)試方法分別按照GB/T?33375一?2016中7.2和7.3測(cè)試。
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圖65??非接觸式靜電電壓測(cè)試儀測(cè)試物品表面電壓示意圖
5.7 ?人體電壓測(cè)試
防靜電地板需要提供接地端，測(cè)試人員穿好防靜電鞋，并保持鞋子穿牢；手持電極和靜電電壓測(cè)試?儀連接，測(cè)試儀接地；測(cè)量前應(yīng)盡量采用技術(shù)手段消除鞋與地板的殘余靜電荷。
測(cè)試前，人員手握電極，站立在防靜電地板上，并迅速觸碰接地點(diǎn)，使系統(tǒng)歸零。整個(gè)測(cè)試過程中，?測(cè)試人員要在前后走動(dòng)時(shí)要覆蓋盡可能多的面積，使身體保持相同的朝向，但要避免劃傷或旋轉(zhuǎn)地板。?并以每秒2步的速率在防靜電地板上走動(dòng)，邁步的動(dòng)作要使鞋底與地板保持平行，鞋抬起高度在50mm???至80 mm?之間，測(cè)試人員距墻壁或室內(nèi)障礙物應(yīng)大于0.5m。按照?qǐng)D66的行走模式的先后順序行走，?每次行走循環(huán)回到啟停位置時(shí)暫停2s, 每周期時(shí)間以60s?為準(zhǔn)，測(cè)試示意圖見圖67。測(cè)量時(shí)地板與接??地系統(tǒng)和接地線不能接觸。測(cè)試人員對(duì)每個(gè)鞋和防靜電地板組合按照上述測(cè)試步驟測(cè)試3次，當(dāng)遇到不??同類型的地板時(shí)，每個(gè)類型的地板應(yīng)獨(dú)立測(cè)試。在已安裝完畢的地板工程現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試中，人體電壓測(cè)試應(yīng)??重復(fù)測(cè)試5次。
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圖67?人體電壓測(cè)試示意圖
通過計(jì)算機(jī)獲取得測(cè)試曲線，并根據(jù)儀表記錄的峰值電壓絕對(duì)值，由實(shí)際測(cè)量情況分別取每次測(cè)試?中5個(gè)最高峰值的算數(shù)平均值及5個(gè)最大谷值的算數(shù)平均值，見圖68;當(dāng)負(fù)峰值大于正峰值(絕對(duì)值)時(shí)，?應(yīng)采取五個(gè)最高負(fù)谷、五個(gè)最高負(fù)峰計(jì)算算術(shù)平均值，見圖69;當(dāng)一次記錄中同時(shí)存在正負(fù)數(shù)據(jù)點(diǎn)且?正負(fù)數(shù)據(jù)點(diǎn)的大小沒有明顯區(qū)別。應(yīng)針對(duì)五個(gè)最高正谷、五個(gè)最高正峰、五個(gè)最高負(fù)谷和五個(gè)最高負(fù)峰??分別計(jì)算算術(shù)平均值。
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圖68??截取正峰值的測(cè)試曲線示意圖
單位：V
單位：秒
10 ????????????????????????20 ???????????????????????30 ???????????????????????40
圖69 ?截取負(fù)峰值的測(cè)試曲線示意圖
5.8??手持工具鉗電荷消散特性測(cè)試
整個(gè)測(cè)試過程保持工具鉗的干燥。戴上腕帶并將其連接到接地端子，將充電平板測(cè)試儀的導(dǎo)電板充?電至1100V, ??斷開高壓電源與充電板的連接，用手持工具鉗如下圖70觸摸充電板，記錄從1000V?到?100V?的消散時(shí)間后抬起手持工具鉗。重復(fù)上述步驟兩次共測(cè)試3次。測(cè)試過程中手指不得接觸充電板?及手持工具金屬部分。
該測(cè)試方法適用于評(píng)價(jià)依靠靜電電荷消散的均質(zhì)材料物品及細(xì)小件個(gè)體、不規(guī)則形狀的防靜電材?料包裝的靜電電荷消散能力。也可以佩戴指套或佩戴手套分別測(cè)試評(píng)價(jià)相應(yīng)的電荷消散能力。
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公共接地點(diǎn)
充電平板測(cè)試儀
手持工具鉗
INPO
腕??????帶
圖70?手持工具鉗電荷消散特性測(cè)試示意圖
5.9 ?靜電放電屏蔽測(cè)試
屏蔽包裝袋的靜電放電屏蔽按下列步驟測(cè)試：
1)將示波器讀取到的電流波形積分；
2)計(jì)算每個(gè)積分采樣點(diǎn)的電流平方；
3)按公式(2)計(jì)算屏蔽能量。
E=R×t×2:-11.:-?…?…?…?…?…?…?…?…?…?????????????????????????…(2)
式?中 ：
E——屏蔽能量，單位為焦耳?(J);
R——500 ?Ω高壓電阻的實(shí)際阻值，單位為歐姆(Ω);
T——?示波器采樣時(shí)間間隔，單位為秒(s);
I;——示波器第i?次采集得到的電流值，單位為安培?(A);
n——采樣點(diǎn)總個(gè)數(shù)，單位為個(gè)。
圖71?靜電放電屏蔽能量測(cè)試示意圖
5.10??服裝帶電電荷量測(cè)試
服裝帶電電荷量的測(cè)試方法按照GB ??12014—2019 附錄B 要求測(cè)試。測(cè)試儀器要求詳見4.2.4.2, 測(cè)試裝置示意圖見圖72。
圖72?服裝帶電電荷量測(cè)試示意圖
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附??錄?A
(規(guī)范性)
各類防靜電產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)
表A.1~?表?A.4 ?技術(shù)指標(biāo)參數(shù)作為防靜電測(cè)試方法測(cè)試判定的依據(jù)，當(dāng)進(jìn)行產(chǎn)品測(cè)試和符合性驗(yàn)證?測(cè)試時(shí)可參照?qǐng)?zhí)行。
表?A.2?、?表?A.3?、?表?A.4 ??中使用的符號(hào)為：Rpp 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻；Rg對(duì)地電阻；Rgp對(duì)可接地點(diǎn)電阻；?Rpgp 點(diǎn)對(duì)可接地點(diǎn)間電阻；Rs表面電阻；Rv體積電阻；R ??兩點(diǎn)間電阻；tsa靜電消散時(shí)間。
考慮帶電器件模型(CDM) ??損壞靜電敏感器件產(chǎn)品和人員安全時(shí)，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、地面點(diǎn)對(duì)地電阻最?低限值應(yīng)不小于1×10’Ω.
表A.1??接地/連接技術(shù)要求
| 技術(shù)要求 | 實(shí)施方法 | 要求限定 |
|
接地/連接系統(tǒng) |
保護(hù)接地 | 國(guó)家電力規(guī)范限值 |
| 功能接地 | 國(guó)家電力規(guī)范限值 | |
| 等電位連報(bào) | 任何防靜電裝備與安全保護(hù)連接點(diǎn)之間的最大電阻小于1.0×10°Ω |
表A.2人員接地技術(shù)要求
| 應(yīng)用系統(tǒng) | 濺試廈目 | 產(chǎn)品測(cè)試指標(biāo) | 符合性驗(yàn)證 |
| 手腕帶系統(tǒng) | 腕帶穿戴狀態(tài)系統(tǒng)電阻 | R<35×10’Ω | |
| 人/鞋/地系統(tǒng) | 人體電壓 | 絕?對(duì)?值?<?0?0?v | |
| /鞋/地系統(tǒng)電照 | R<1.0×102 | R<1o×10°Ω | |
| 人/鞋系統(tǒng) | 人/鞋系續(xù)電阻 | 一 | R:<1.0×10°Ω |
| 對(duì)于站立操作的工作人員可以通過腕帶系統(tǒng)或人/鞋/地系統(tǒng)接地。當(dāng)使用人/鞋/地板系統(tǒng)，人員雙腳應(yīng)穿防靜電鞋?類并滿足以下兩種條件：
a)該系統(tǒng)的總電阻(從人通過鞋和地板接地)應(yīng)小于1×10°Q; b)產(chǎn)生人體電壓最大值應(yīng)小于100V.當(dāng)采用鞋束接地方式同樣應(yīng)遵循上述要求 |
|||
表A.3??防靜電工作區(qū)所用各類防靜電裝備(用品)技術(shù)指標(biāo)
| 測(cè)試項(xiàng)目 | 產(chǎn)品測(cè)試指際 | 符合性驗(yàn)證 | |
| 腕帶連線電阻 | .8×10°0~1.2×10°Ω | 0.8×10°Ω~1.2×10°Ω | |
| 腕環(huán) | 內(nèi)表面電阻 | <1.0×10Ω | |
| 外表面電阻 | >1.0×102Ω | 一 | |
| 腕帶插孔對(duì)地電阻 | 一 | R.<2Ω | |
| 鞋底電阻 | R.<1.0×10°Ω | 見人/鞋系統(tǒng) | |
| 鞋束電阻 | Ro。<1.0×10°Ω | 見人/鞋系統(tǒng) | |
| 座椅、運(yùn)轉(zhuǎn)車 | R?,<1.0×10°Ω
R.<1.0×10°Ω |
R,<1.0×10°Ω | |
| 工作臺(tái)、存放架、存放柜表面 | R?,<1.0×10°Ω
R?<1.0×10°Ω |
R.<1.0×10°Ω | |
| 傳輸帶 | 一 | R.<1.0×10°Ω | |
| 地板或地坪類工程地面、墻面 | 一 | R?<1.0×10°Ω | |
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表A.3?(?續(xù)?)
| 測(cè)試項(xiàng)目 | 產(chǎn)品測(cè)試指標(biāo) | 符合性驗(yàn)證 | |
| 地面覆蓋物樣塊 | R?,<1.0×10°Ω
R.<1.0×10°& |
一 | |
|
離子化靜電消除器 |
消散時(shí)間
(±1000V~±100V) L<20s |
消散時(shí)間
(±1000V~±100V) L.<20s |
|
| 殘余電壓絕對(duì)值小于35V?或客戶自定義 | 殘余電壓絕對(duì)值小于35V?或客戶自定義 | ||
|
服裝 |
服裝 | R,<1.0×10″Q | R,<1.0×10″Ω |
| 提供接地點(diǎn)服裝 | R,,<1.0×10°2
R<1.0×10°Ω |
Ro,<1.0×10°Ω
Ra<1.0×10°Ω |
|
|
帶腕帶接地系統(tǒng)服裝 |
Ro?<1.0×10°Ω2
Rm<1.0×10°Ω 人穿著下Rm<3.5×10Ω |
Ro<1.0×10°Ω
Rm<1.0×10°Ω 人穿著下R,<3.5×10°Ω |
|
| 手套、指套 | R.。<1.0×10°Ω?R.<1.0×10°9 | 穿戴時(shí)R?<1.0×10°Ω | |
| 工位器具、毛刷、鑷子等 | R,<1.0×10°0 | 操作中R?<1.0×10°Ω | |
|
手持烙鐵 |
烙鐵頭對(duì)地電阻<2Ω |
烙鐵頭對(duì)地電阻<10Ω |
|
| 烙鐵頭泄漏電壓<20mV | |||
| 烙鐵頭泄漏電流<10mA | |||
| 防靜電蠟、防靜電膠 | R.<1.0×10°Ω | 一 | |
| 臺(tái)墊 | R,,<1.0×10°Ω
R?<1.0×10°Ω |
R?<1.0×10°Ω | |
| 防靜電接地電阻 | <10Ω | <10Ω | |
|
物品表面靜電電壓 |
孤立導(dǎo)體 | 一 | <35V或客戶自定義 |
| 防靜電材料 | 一 | <100V或客戶自定義 | |
| 絕緣材料 | 一 | 客戶自定義 | |
| 服裝帶電電荷量 | ≤0.60?μC | 一 | |
表A.4??包裝技術(shù)要求
| 技術(shù)要求 | 測(cè)試項(xiàng)目 | 產(chǎn)品檢測(cè)指標(biāo) | |
| 電阻特性 | |||
|
包裝(箱、盒) |
靜電耗散型 |
表面電阻 | 1.0×10?≤R.<1.0×10″Q |
| 體積電阻 | 1.0×10?≤R<1.0×10″Ω | ||
| 兩點(diǎn)間電阻 | 1.0×10?≤R?<1.0×10″Ω | ||
|
導(dǎo)靜電型 |
表面電阻 | R.<1.0×10? Ω | |
| 體積電阻 | R.<1.0×10°Ω | ||
| 兩點(diǎn)間電阻 | R?<1.0×10’Ω | ||
| 屏蔽型 | 靜電放電屏蔽能量 | <20nJ | |
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專??文 ?獻(xiàn)
術(shù)語(yǔ)
夫受控環(huán)境靜電控制技術(shù)指南?靜電地坪涂料通用規(guī)范
Measurement?methods?-Ability?of?materials?and?products?to?dissipate?static
-2-3?Methods?of test?for?determining?the?resistance?and?resistivity?of solid?materials
static??charge??accunulation
c ?61340-4-1 ?Standand ?test ?methods ?for ?specific ?applications-Electrical ?resistance ?of ?floor
nd?installed?floors
IEC ?????61340-4-3·Standard?test?methods ?for ?specific?applications?Footwear
[8]IEC??61340-4-5??Standard ?test ?methods ??for ??specific??applications??-Methods??for??characterizing?the electrostatic protection of?footwear and flooring in combination with?a person
[9] ???????IEC??61340-4-6??Standard ?test??methods??for??specific??appications-Wnst??straps
[10]IEC ??61340-4-8:2014 ???Standard ???tast ??methods ???for ???specific ??applications-Electrostatic
Discharge ???Shietding-Bags
[11]???IEC ?61340-4-9 ?Standurd ?test ?methods ?for ?specific ?applications ?-Garments
[12] ??IEC ???61340-5-1????Protection?of?electronic?devices?from?electrostatic?phenomena?-General?requirements
[13]IEC??TR??61340-5-2??Protection??of??electronic??devices??from??electrostatic??phenomena-User
guide
[14]IFC ?????????61340-?5-3 ?Protection ?ofelectronic ?devices ?from ?electrostatic ?phenomena-Properties?and?Requirement?clastfication?for?packaging?intended?for?electrostati?discharge?sensitive?devices
[15]IEC??TR??61340-5-4 ?Protection ??ofelectronic??devices??from??electrostatic ?phenomena-Compliance?verification
[16]ESD ??ADV?.0-2017 ???for ???Electrostatic ??Discharge ???Teminology ???Glossory
[17]ANSIESD??STM2.1??For??the??Protection??ofElectrostatic??Discharge??Susceptible??ftems??Garments
[18]ANSIESD ??STM4.1 ??For ??the ??Protection ??ofElectrostatic ??Discharge ??Susceptible ??Items?Worksurfaces-Resistance?Measurements(Including?Shelving?and?Mobile?Equipment)
[19]ANSIESD ??STM9.1 ??For ??the ??Protecion ??ofElectrostatic ??Discharge???Susceptible???Items?Footwear-Resistive??Characterization(excluding??foot??grounders)
[20]ESD??SP9.2??for??the??Protection??of ?Electrostatic??Discharge ??Susceptible??Items??Footwear-Foot?Grounders?Resistive?Characterization(not to?include?static?control?shoes)
[21]ANSIESD??STM11.31??For??the??Evaluating??the??Performance??of ?Electrostatic??Discharge
Shielding ???Materials-Bags
[22]ANSIESD??STM13.1??For??the??Protection??of ?Electrostatic??Discharge ??Susceptible??ltems?Electrical?Soldering/Desoldering Hand Tools
[23]ANSIESD??S20.20 ?For ?the ?Development??of ?an??Electrostatic??Discharge??Control??Program??for????Protection ??of??Electical ??and ??Electronic ??Parts,Assemblies ??and???Equipment(Excluding???Eletrially???hifated?Explosive Devices)
[24]ANSIESD??TR53-01??For??the??Protection??of ?Electrostatic ??Discharge ??Susceptible??Items-
SJ/T???10694—2022
Compliance Verification of?ESD Protective Equipment and Materials
[25] ??ANSI/ESD STM97.1 For?the Protection?of Electrostatic?Discharge?Susceptible?Items?Footwear/Flooring?System-Resistance?Measurement?in?Combination with?a?Person
[26] ??????ANSI/ESD?STM97.2?For?the?Protection?of Electrostatic?Discharge ?Susceptible?Items?Footwear/Flooring?System-Voltage?Measurement?in?Combination with?a?Person
[27] ??????ANSI/ESD?S541?For?the?Protection?of?Electrostatic?Discharge?Susceptible?Items?Packaging?Materials
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